公开(公告)号：CN108237469A

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201611216510.8

申请日：2016-12-23

申请人： 有研半导体材料有限公司

发明人： 夏青 ,  库黎明 ,  朱秦发 ,  高立飞 ,  田强 ,  王思元 ,  张雷 ,  杨卫国 ,  闫志瑞 ,  李磊

IPC分类号： B24B39/06 ,  B24B1/00 ,  B24B55/00 ,  B24B47/12 ,  B24B57/00

摘要： 本发明公开了一种用于抛光等离子硅聚焦环台阶的装置及方法。该装置包括主体槽、转动装置、紧固装置、送液装置、悬臂和抛光布，其中，紧固装置包括一卡盘，该卡盘上设有螺纹孔，通过螺栓固定待抛光的硅聚焦环；所述紧固装置安装在转动装置上，送液装置用于向待抛光的硅聚焦环上喷淋抛光液；抛光布贴在悬臂的下端，悬臂套在悬臂杆上通过绳子与重锤相连，悬臂可在悬臂杆上沿卡盘径向移动，悬臂杆套在悬臂架上，悬臂杆可在悬臂架上上、下移动。采用该装置抛光等离子硅聚焦环台阶，通过调整卡盘的转速和抛光时间，来达到所需硅环台阶粗糙度。采用本发明可以获得硅环台阶表面粗糙度极低的硅聚焦环，简单易行，效率较高。

公开(公告)号：CN112975597A

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN201911299144.0

申请日：2019-12-16

申请人： 有研半导体材料有限公司

发明人： 朱秦发 ,  库黎明 ,  张雷 ,  杨卫国 ,  张文齐 ,  李亚光

IPC分类号： B24B3/00 ,  B24B49/00

摘要： 本发明公开了一种用于金刚石刀具修正的装置及方法。装置包括修刀砂轮、底座、驱动电机；修刀砂轮中间为中空、底部带安装卡扣，通过螺母直接固定在底座上，驱动电机驱动底座旋转同时带动修刀砂轮旋转。采用该装置进行金刚石刀具修正的方法包括以下步骤：(1)将修刀砂轮固定在底座上，使修刀砂轮完全湿润；(2)在加工中心上确定坐标系位置，确定待修正刀具底到修刀砂轮表面的距离；(3)打开驱动电机，底座带动修刀砂轮旋转，启动修刀程序，待修正刀具在修刀砂轮表面进行往复移动；(4)刀具修正完成后，进行超声清洗，煮沸去除油污和表面碎渣。通过本发明的装置及方法可以获得刀具表面的垂直度和平面度以及表面光洁度的大幅度提升改善。