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公开(公告)号：CN104694895B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201310654103.5
申请日：2013-12-05
申请人： 有研亿金新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了属于靶材制备技术领域的一种W‑Ti合金靶材及其制造方法。本发明的方法先热压烧结出初始W‑Ti合金靶坯，相对密度达到95%以上，这样靶坯无内部‑表面贯通气孔，可直接进行无包套热等静压处理，消除了因包套漏气致使材料报废的风险或高温下皮料与包套反应，无包套热等静压处理后，靶坯相对密度可提高到99.5%以上；上述方法制备的W‑Ti合金靶材可实现粉末与热压模具反应小，靶材近净尺寸成型，无弯曲变形，后续机加工量小，大大降低了原材料相对昂贵的靶材制造成本。本发明方法制造的W‑Ti合金靶材相对密度可提高到99.5%以上，成材率可达到80%以上，工艺简单，且适合大批量工业化生产。
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公开(公告)号：CN103808797B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201210442283.6
申请日：2012-11-07
申请人： 有研亿金新材料股份有限公司
IPC分类号： G01N29/04
摘要： 本发明公开了属于无损检测超声探伤技术领域的一种检验扩散焊焊接质量的方法。本发明方法是采用超声纵波脉冲反射式水浸法，首先根据焊接界面超声回波波形和波幅找到波幅最低的焊接完全区域，以焊接完全区域焊接界面回波波幅为满屏的10~80%波幅为扫查基准灵敏度对整个工件进行扫查。以焊接界面回波波幅高于满屏的80%为缺陷判定基准对工件进行评定。本发明的方法，不需要额外对比试块，简化扩散焊焊接超声检测过程，降低检测成本，提高检测效率。
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公开(公告)号：CN103808796B
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201210441251.4
申请日：2012-11-07
申请人： 有研亿金新材料股份有限公司
IPC分类号： G01N29/04
摘要： 本发明公开了属于无损检测超声探伤领域的一种检测采用中间层连接方式焊接的焊接质量的方法。本发明方法采用超声纵波反射式液浸技术，使焦点聚焦在连接界面上，保持灵敏度不变，在检测面上分别沿不同轴向移动扫查机构，观察连接界面的回波波幅，找到回波波幅最低的焊接完全区，再调节灵敏度，使焊接完全区的界面的回波波幅为满屏的45-55%；以此灵敏度对整个工件进行扫查。以连接界面回波波幅高于满屏的80%作为缺陷判定基准对工件进行计算和评定。本发明的方法不需要额外对比试块，显著降低检验成本，简化超声检测过程，节省检测时间，提高检测效率。
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公开(公告)号：CN104726829A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310701500.3
申请日：2013-12-18
申请人： 有研亿金新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了属于靶材制备技术领域的一种高纯NiPt合金靶材及其制备方法，其特征在于通过热锻进行开坯，采用冷轧结合再结晶热处理控制合金微观组织。具体工艺流程为：热锻、冷轧、真空热处理、精加工等。通过上述方法得到的高纯NiPt合金靶材晶粒细小、均匀，靶材溅射面晶粒取向呈随机分布。
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公开(公告)号：CN104690487A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310664863.4
申请日：2013-12-09
申请人： 有研亿金新材料股份有限公司
IPC分类号： B23P11/00
CPC分类号： B23P11/00
摘要： 本发明属于靶材制造技术领域，特别涉及一种靶材与背板的粘合连接方法。本发明方法包括：提供靶材及背板；对靶材与背板粘合面进行加工；在靶材与背板粘合面上均匀涂覆粘合所需的有机胶；对靶材与背板进行粘合，采用常温固化或低温固化的方式使粘合可靠。本发明方法利用有机胶粘合实现了常温或低温下靶材的可靠连接，可保证靶材溅射过程中具备良好的导热性、导电性及足够的连接强度，同时降低了连接温度，从而避免了高温加热可能引起的靶材碎裂、变形等问题，可满足特殊靶材的常温连接要求，同时降低了操作难度，提高了成品率。
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公开(公告)号：CN102814585A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210236761.8
申请日：2012-07-09
申请人： 北京有色金属研究总院 , 有研亿金新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了属于靶材制造技术领域的一种靶材与背板焊接方法。该方法首先在钴靶材和背板上均加工出凹槽，再利用多层复合材料中间层，采用低温扩散焊接方法将钴靶材焊接在铜合金背板上。本发明的方法利用多层材料中间层可以实现大面积钴靶材的低温焊接，防止钴靶材的磁性能发生变化，提高钴靶材与铜合金背板的焊接强度，避免靶材组件在溅射时开裂，确保钴靶材的溅射性能得到保证。
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公开(公告)号：CN101745734A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910242942.X
申请日：2009-12-18
申请人： 北京有色金属研究总院 , 有研亿金新材料股份有限公司
摘要： 本发明属于靶材的焊接技术领域，特别涉及一种大面积靶材与背板(又叫靶托)的快速焊接方法。将靶材待焊面的表面粗糙化、清洗并烘干；将靶材和背板之间撒上一定厚度的金属粉末，然后放入大电流装置中，在一定的保护气氛下，在待焊接靶材和背板的两端施加一定的压力，并通过高频脉冲电流进行焊接，电流大小为1000A～9000A，通电1min～5min，即完成焊接。该方法能够对设备要求低，靶材与背板待焊面的加工要求低，焊接可靠，所需时间短，生产效率高，能适应绝大多数金属靶材与异种金属背板之间的焊接，同时保证靶材的显微组织性能不受影响，靶材与背板的焊合强度高，可靠性高，操作简单，可重复性好，生产效率高。
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公开(公告)号：CN100567560C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200710176753.8
申请日：2007-11-02
申请人： 北京有色金属研究总院 , 有研亿金新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种嵌套式溅射靶及其制造方法，本发明溅射靶包括靶材1和靶托2，其中靶材1具有凸台结构，靶材1的凸台结构部分嵌套在靶托2内。本发明结构简单，使用后剩余靶材可以回收，减少贵重金属的浪费；其次，靶托可采用铝、铜等金属材料，节省了贵重的溅射材料；本发明制造方法不用焊接，方法简单，生产成本低。
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公开(公告)号：CN104694888B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201310662845.2
申请日：2013-12-09
申请人： 有研亿金新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了属于溅射靶材技术领域的一种高纯铜溅射靶材的制备方法。该方法主要包括：高纯铜靶材坯料在高温下进行镦粗拔长的塑性变形。经过多轮次的镦粗拔长变形后，将靶材坯料冷却。对冷却后的高纯铜靶材坯料进行压延变形制备成高纯铜靶坯。然后对靶坯进行热处理，得到组织细小均匀的高纯铜靶材。本发明的优点在于：采用塑性变形与热处理相结合的方法制备高纯铜靶材，该方法制备的靶材晶粒细小，分布均匀，完全满足溅射的需求。同时通过采用可控性的塑性加工设备使得加工工艺的一致性、重复性得到保证。该方法工艺简单，设备操作灵活，生产效率高，适合大规模工业化生产。
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公开(公告)号：CN104694888A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310662845.2
申请日：2013-12-09
申请人： 有研亿金新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了属于溅射靶材技术领域的一种高纯铜溅射靶材的制备方法。该方法主要包括：高纯铜靶材坯料在高温下进行镦粗拔长的塑性变形。经过多轮次的镦粗拔长变形后，将靶材坯料冷却。对冷却后的高纯铜靶材坯料进行压延变形制备成高纯铜靶坯。然后对靶坯进行热处理，得到组织细小均匀的高纯铜靶材。本发明的优点在于：采用塑性变形与热处理相结合的方法制备高纯铜靶材，该方法制备的靶材晶粒细小，分布均匀，完全满足溅射的需求。同时通过采用可控性的塑性加工设备使得加工工艺的一致性、重复性得到保证。该方法工艺简单，设备操作灵活，生产效率高，适合大规模工业化生产。
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