公开(公告)号：CN115752761A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211360803.9

申请日：2022-11-02

Applicant: 暨南大学

Inventor： 关贺元 ,  隋展 ,  章灏然 ,  林云 ,  陈炳羽 ,  卢惠辉 ,  丘文涛 ,  陈哲 ,  杨铁锋 ,  张子龙

IPC: G01J9/02

Abstract: 一种利用SPR增强非线性效应的光学相位检测方法及装置，方法包括，不同相位的相干光束形成干涉，产生基频光干涉条纹图像；以共振角入射到斜面镀有金膜的Kretschmann结构，激发表面等离子体共振，减小反射光强度，提高非线性转换效应；滤除反射光中基频光，采集高次谐波的干涉条纹图像或功率数据进行干涉鉴相。本发明将相位差信息转换为光学非线性信息，并采用表面等离子体共振进行非线性效应的增强，完成对非线性效应的增强，相位检测能力被二次方和三次方放大，达到增强干涉图像亮纹与暗纹的对比度、提升了相位测量的精度与分辨率。