抗静电剂、抗静电膜及抗静电膜被覆物

    公开(公告)号:CN101696351B

    公开(公告)日:2013-01-09

    申请号:CN200910224857.0

    申请日:2007-01-31

    Abstract: 本发明的目的是提供在化学放大型抗蚀剂中对于防止起雾及膜减薄现象表现优异的抗静电剂、使用了该抗静电剂的抗静电膜及被覆物。本发明涉及含有水溶性导电高分子、溶剂及水溶性高分子的抗静电剂。通过将水溶性高分子,特别是具有多肽键的水溶性高分子化合物或具有聚乙烯基结构的特定水溶性高分子与水溶性导电高分子并用,即使使用可便宜而简单地赋予对抗蚀剂的涂布性的表面活性剂,也能在保持涂布性的同时,抑制对抗蚀剂产生的影响(抗蚀剂溶解或抗蚀剂显影后形成的抗蚀剂起雾和膜减薄现象)。通过含有表面活性剂来提高涂布性的抗静电剂对于化学放大型抗蚀剂和非化学放大型抗蚀剂均有抑制混合的效果。

    用于抛光金属的组合物、金属层的抛光方法以及生产晶片的方法

    公开(公告)号:CN100393832C

    公开(公告)日:2008-06-11

    申请号:CN200380102127.4

    申请日:2003-10-31

    Abstract: 使用一种金属抛光组合物抛光金属层,所述金属抛光组合物包含在金属层表面聚合、在金属层表面形成聚合物膜的成膜化合物。金属层的抛光方法包括使用金属抛光组合物的金属层的抛光和平面化的步骤。晶片的生产方法,其中包括形成于含有凹槽的晶片顶部以填充和覆盖凹槽的金属层的抛光和平面化的步骤。根据该组合物和抛光方法,避免了凹陷以改善平面性,并且抛光金属层、特别是铜层的抛光速率得到了改善,从而使低压下的膏抛光速率成为可能,由于也防止了金属层的划伤,产能得到了提高。

    抗静电剂、抗静电膜及抗静电膜被覆物

    公开(公告)号:CN101016447B

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200710006980.6

    申请日:2007-01-31

    Abstract: 本发明的目的是提供在化学放大型抗蚀剂中对于防止起雾及膜减薄现象表现优异的抗静电剂、使用了该抗静电剂的抗静电膜及被覆物。本发明涉及含有水溶性导电高分子、溶剂及水溶性高分子的抗静电剂。通过将水溶性高分子,特别是具有多肽键的水溶性高分子化合物或具有聚乙烯基结构的特定水溶性高分子与水溶性导电高分子并用,即使使用可便宜而简单地赋予对抗蚀剂的涂布性的表面活性剂,也能在保持涂布性的同时,抑制对抗蚀剂产生的影响(抗蚀剂溶解或抗蚀剂显影后形成的抗蚀剂起雾和膜减薄现象)。通过含有表面活性剂来提高涂布性的抗静电剂对于化学放大型抗蚀剂和非化学放大型抗蚀剂均有抑制混合的效果。

    抗静电剂、抗静电膜及抗静电膜被覆物

    公开(公告)号:CN101696351A

    公开(公告)日:2010-04-21

    申请号:CN200910224857.0

    申请日:2007-01-31

    Abstract: 本发明的目的是提供在化学放大型抗蚀剂中对于防止起雾及膜减薄现象表现优异的抗静电剂、使用了该抗静电剂的抗静电膜及被覆物。本发明涉及含有水溶性导电高分子、溶剂及水溶性高分子的抗静电剂。通过将水溶性高分子,特别是具有多肽键的水溶性高分子化合物或具有聚乙烯基结构的特定水溶性高分子与水溶性导电高分子并用,即使使用可便宜而简单地赋予对抗蚀剂的涂布性的表面活性剂,也能在保持涂布性的同时,抑制对抗蚀剂产生的影响(抗蚀剂溶解或抗蚀剂显影后形成的抗蚀剂起雾和膜减薄现象)。通过含有表面活性剂来提高涂布性的抗静电剂对于化学放大型抗蚀剂和非化学放大型抗蚀剂均有抑制混合的效果。

    抗静电剂、抗静电膜及抗静电膜被覆物

    公开(公告)号:CN101016447A

    公开(公告)日:2007-08-15

    申请号:CN200710006980.6

    申请日:2007-01-31

    Abstract: 本发明的目的是提供在化学放大型抗蚀剂中对于防止起雾及膜减薄现象表现优异的抗静电剂、使用了该抗静电剂的抗静电膜及被覆物。本发明涉及含有水溶性导电高分子、溶剂及水溶性高分子的抗静电剂。通过将水溶性高分子,特别是具有多肽键的水溶性高分子化合物或具有聚乙烯基结构的特定水溶性高分子与水溶性导电高分子并用,即使使用可便宜而简单地赋予对抗蚀剂的涂布性的表面活性剂,也能在保持涂布性的同时,抑制对抗蚀剂产生的影响(抗蚀剂溶解或抗蚀剂显影后形成的抗蚀剂起雾和膜减薄现象)。通过含有表面活性剂来提高涂布性的抗静电剂对于化学放大型抗蚀剂和非化学放大型抗蚀剂均有抑制混合的效果。

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