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公开(公告)号：CN101143422B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200710149285.5
申请日：2007-09-11
IPC: B24B5/48
Abstract: 本发明提供一种圆盘状基板的内周研磨方法，其通过简便的方法没有差别且精度良好地研磨圆盘状基板的中心的开孔。该圆盘状基板的内周研磨方法对在中心具有开孔的圆盘状基板的内周进行研磨，在圆盘状基板的开孔中插入刷子，将该刷子的一端和另一端固定于安装在彼此远离的位置上的一对旋转轴，牵引刷子的一端和/或另一端，对刷子的芯施加轴芯方向的牵引力，使该刷子旋转来进行研磨。
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公开(公告)号：CN101143422A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200710149285.5
申请日：2007-09-11
IPC: B24B5/48
Abstract: 本发明提供一种圆盘状基板的内周研磨方法和内周被研磨的圆盘状基板，其通过简便的方法没有差别且精度良好地研磨圆盘状基板的中心的开孔。该圆盘状基板的内周研磨方法对在中心具有开孔的圆盘状基板的内周进行研磨，在圆盘状基板的开孔中插入刷子，将该刷子的一端和另一端固定于安装在彼此远离的位置上的一对旋转轴，牵引刷子的一端和/或另一端，对刷子的芯施加轴芯方向的牵引力，使该刷子旋转来进行研磨。
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公开(公告)号：CN101186020B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN200710186662.2
申请日：2007-11-21
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: B24B5/48 , B24B37/02 , B24D13/10 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供研磨装置、研磨刷及圆盘状基板的制造方法，可促进研磨液向研磨作业区域的供给并可在层叠加工体的层叠方向上均匀地研磨。研磨机构在支撑于旋转工作台上的层叠加工体的中心孔中插入研磨刷，且从研磨浆供给喷嘴向层叠加工体的上表面供给研磨浆，使层叠加工体旋转，并使研磨刷一边旋转一边在其轴向(上下方向)上以预定行程往复移动，从而研磨中心孔的内周面(圆盘状基板的内周面)。层叠加工体将圆盘状基板层叠多张并按照预定张数夹装从外周面向中心孔供给研磨浆的研磨浆导入体，且支撑于保持架上，另外，以覆盖该圆盘状基板的层叠部位的方式安装罩。在研磨作业时，在罩的内侧流动的研磨浆经研磨浆导入体向中心孔供给。
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公开(公告)号：CN101186020A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200710186662.2
申请日：2007-11-21
IPC: B24B5/48 , B24B37/02 , B24D13/10 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供研磨装置、研磨刷及圆盘状基板的制造方法，可促进研磨液向研磨作业区域的供给并可在层叠加工体的层叠方向上均匀地研磨。研磨机构在支撑于旋转工作台上的层叠加工体的中心孔中插入研磨刷，且从研磨浆供给喷嘴向层叠加工体的上表面供给研磨浆，使层叠加工体旋转，并使研磨刷一边旋转一边在其轴向(上下方向)上以预定行程往复移动，从而研磨中心孔的内周面(圆盘状基板的内周面)。层叠加工体将圆盘状基板层叠多张并按照预定张数夹装从外周面向中心孔供给研磨浆的研磨浆导入体，且支撑于保持架上，另外，以覆盖该圆盘状基板的层叠部位的方式安装罩。在研磨作业时，在罩的内侧流动的研磨浆经研磨浆导入体向中心孔供给。
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