公开(公告)号：CN106768378A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611030800.3

申请日：2016-11-22

Applicant: 昆明物理研究所

Inventor： 范乃华 ,  秦强 ,  肖徽山 ,  钱昆伦 ,  洪建堂 ,  姚菡婷 ,  刘莹娟 ,  刑一山

IPC: G01J5/04 ,  G01L21/00

CPC classification number: G01J5/045 ,  G01L21/00

Abstract: 本发明提供一种能实时检测真空度的红外探测器微型杜瓦，包括其内带真空腔、真空腔内设内管及吸气剂的管壳，设于管壳上方的其顶部带红外窗片的窗框座，设于管壳与窗框座之间的引线环，引线环上的管脚延伸至管壳外部，窗框座内并位于内管的顶部设有装载基板，装载基板上设有红外探测器，该红外探测器的信号线与引线环及管脚相连，其特征在于真空腔内设有静电驱动‑电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片，该芯片的信号线引出后与管壳外部的检测器相连。定量检测微型杜瓦实际真空度，适时激活吸气剂，并检测各方向的角速度值，控制载具的惯性姿态，确保红外探测器的正常使用。