反射膜用层叠体
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101233434A

    公开(公告)日:2008-07-30

    申请号:CN200680027724.9

    申请日:2006-07-04

    Abstract: 本发明提供在整个可见光区域具有高反射率,耐湿性和耐盐水性等耐久性良好的层叠体。所述层叠体是在基板上依次层叠有银膜、密合改善膜、低折射率膜、高折射率膜的层叠体,其特征在于,前述低折射率膜中的至少密合改善膜侧的层通过使用氧化物靶材并采用含氮的溅射气体的高频溅射法形成,前述密合改善膜的消光系数在0.1以下且膜厚为0.5~4nm,前述低折射率膜的消光系数在0.01以下,前述高折射率膜的消光系数在0.01以下。

    高反射镜及其制造方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101151557A

    公开(公告)日:2008-03-26

    申请号:CN200680010130.7

    申请日:2006-02-02

    Abstract: 本发明提供了一种在可见光域内具有高反射率、耐湿性,特别是置于高温高湿条件之后仍能维持高反射率以及对硫化氢的耐性高的高反射镜。该高反射镜是基板上设有银膜的高反射镜,其特征在于,该高反射镜的最表面形成保护膜,该保护膜的衰减系数是0.1以下,所述保护膜是碳膜。所述银膜的基板侧形成基底膜,所述基底膜为氧化钛膜,且氧化钛膜由缺氧的靶形成。

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