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公开(公告)号：CN103630552A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201310372689.6
申请日：2013-08-23
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明提供一种检查板状体的缺陷并且能够获取缺陷的产生和附着位置的板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置。根据本发明，首先，将玻璃板以靠基座放置的方式搭载于基座。接着，获取坐标原点。即，获取对玻璃板的四个角部中的一个角部照射来自激光指针的点光的位置作为坐标原点。接着，使与基座相对置地配置的观察光学部沿着滑轨水平移动，并且使基座升降移动，通过观察光学部发现搭载于基座的玻璃板的缺陷。接着，从激光指针向由观察光学部发现的缺陷的位置照射点光。而且，通过控制部计算点光在玻璃板的表面上的照射位置的坐标位置并存储到RAM。
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