玻璃板和玻璃基板的制造方法

    公开(公告)号:CN107857480A

    公开(公告)日:2018-03-30

    申请号:CN201710860184.2

    申请日:2017-09-21

    CPC classification number: C03C15/00 G02F1/1333 G02F2001/133302

    Abstract: 本发明提供玻璃板和玻璃板的制造方法。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且抑制反应气体对相反侧的半导体元件等的形成面的影响。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。一边将玻璃板(1)在表面粗糙化装置(100)内输送一边使其第2主表面(20)被作为反应气体的氟化氢气体蚀刻,并尽量抑制反应气体对其他面的影响。特别是,第1主表面(10)的Al/Si的值大于第2主表面(20)的Al/Si的值,抑制Al自玻璃成分中被沥滤,使第1主表面(10)与形成于第1主表面(10)的半导体元件等的密合性良好。

    熔融玻璃搅拌装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102300819A

    公开(公告)日:2011-12-28

    申请号:CN201080006093.9

    申请日:2010-02-23

    Abstract: 本发明提供一种熔融玻璃搅拌装置,在按输送量1~50m3/小时·S(S为输送管的截面积)输送粘度为100~7000dPa·s的熔融玻璃的熔融玻璃输送管内对该熔融玻璃进行搅拌,其中,该熔融玻璃搅拌装置由可旋转的中心轴和设置于该中心轴上的搅拌部构成,所述搅拌部由分别由各板状体形成的横向搅拌叶片及纵向搅拌叶片构成,所述横向搅拌叶片以长边与所述中心轴正交且短边沿所述中心轴的轴方向倾斜10~70度的方式设置,所述纵向搅拌叶片以使长边与所述中心轴平行的方式设置在规定所述搅拌部的外缘的位置,在将设置有所述搅拌部的部位的所述熔融玻璃输送管的直径设为D1(mm)、将所述搅拌部的所述外缘的最大直径设为D2(mm)时,满足0.8×D1≤D2≤0.98×D1。

    无机质球状体的制造方法以及制造装置

    公开(公告)号:CN100430123C

    公开(公告)日:2008-11-05

    申请号:CN200410062808.9

    申请日:2004-06-18

    Abstract: 本发明提供一种高产率且稳定制得具有实质上均一粒径的无机质球状体的制造方法以及制造装置。该制造方法具有如下特征:通过多孔性膜将含有无机化合物的水性液体挤出到流路中的流速为0.001—2m/s且以层流状态流动的有机液体中,形成为W/O型乳浊液后,将该W/O型乳浊液中的含无机化合物的水性液体固化。特别好是位于上述流路的最上游的部分和位于最下游的部分之间的上述有机液体的压力损失为10—5000Pa。

    熔融玻璃搅拌装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102300819B

    公开(公告)日:2014-11-26

    申请号:CN201080006093.9

    申请日:2010-02-23

    Abstract: 本发明提供一种熔融玻璃搅拌装置,在按输送量1~50m3/小时·S(S为输送管的截面积)输送粘度为100~7000dPa·s的熔融玻璃的熔融玻璃输送管内对该熔融玻璃进行搅拌,其中,该熔融玻璃搅拌装置由可旋转的中心轴和设置于该中心轴上的搅拌部构成,所述搅拌部由分别由各板状体形成的横向搅拌叶片及纵向搅拌叶片构成,所述横向搅拌叶片以长边与所述中心轴正交且短边沿所述中心轴的轴方向倾斜10~70度的方式设置,所述纵向搅拌叶片以使长边与所述中心轴平行的方式设置在规定所述搅拌部的外缘的位置,在将设置有所述搅拌部的部位的所述熔融玻璃输送管的直径设为D1(mm)、将所述搅拌部的所述外缘的最大直径设为D2(mm)时,满足0.8×D1≤D2≤0.98×D1。

    玻璃板
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107857479A

    公开(公告)日:2018-03-30

    申请号:CN201710859740.4

    申请日:2017-09-21

    CPC classification number: C03C15/00

    Abstract: 本发明提供一种玻璃板。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且提高玻璃板的朝向判断性。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。利用作为反应气体的氟化氢气体对第2主表面(20)进行蚀刻并且利用滞留气体(G)对第1端面(30)也进行蚀刻。其结果,第1主表面(10)的第1表面粗糙度小于第2主表面(20)的第2表面粗糙度,第1端面(30)的第1碎玻璃剥离率大于第2端面(40)的第2碎玻璃剥离率,由此,防止吸附于载物台的第2主表面(20)的剥离带电,容易利用第1端面(30)的表面粗糙化判断玻璃板(1)的方向性。

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