半导体树脂模塑用脱模膜

    公开(公告)号:CN101427358B

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN200780014091.2

    申请日:2007-04-20

    Abstract: 本发明提供气体透过性显著较低,由模塑树脂导致的模具污染非常少,具有高脱模性的脱模膜。它是气体屏蔽性半导体树脂模塑用脱模膜,其特征在于,具有脱模性优良的脱模层(I)、支持该脱模层的塑料支持层(II)和由金属或金属氧化物构成的气体透过抑制层(III),该气体透过抑制层(III)形成于该脱模层和支持层之间,且该脱模膜在170℃下的二甲苯气体透过性为10-15(kmol·m/(s·m2·kPa))以下。脱模层(I)较好的是由乙烯/四氟乙烯系共聚物等氟树脂形成,此外作为金属氧化物层,较好的是氧化铝、氧化硅或氧化镁等的氧化物层。

    半导体树脂模塑用脱模膜

    公开(公告)号:CN101506961B

    公开(公告)日:2011-01-05

    申请号:CN200780030645.8

    申请日:2007-07-30

    CPC classification number: B29C33/68 H01L21/566 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 本发明提供气体透过性低、由模塑树脂导致的模具污染少、具有高脱模性的半导体树脂模塑用脱模膜。该脱模膜是一种气体屏蔽性半导体树脂模塑用脱模膜,至少具有脱模性优良的脱模层(I)和支持该脱模层(I)的塑料支持层(II),该脱模膜的特征在于,所述塑料支持层(II)在170℃下拉伸200%时的拉伸强度为1MPa~50MPa,且该脱模膜在170℃下的二甲苯气体透过性为5×10-15(kmol·m/(s·m2·kPa))以下。脱模层(I)较好的是由乙烯/四氟乙烯系共聚物等氟树脂形成,塑料支持层(II)较好的是由乙烯/乙烯醇共聚物形成。

    半导体树脂模塑用脱模膜

    公开(公告)号:CN101506961A

    公开(公告)日:2009-08-12

    申请号:CN200780030645.8

    申请日:2007-07-30

    CPC classification number: B29C33/68 H01L21/566 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 本发明提供气体透过性低、由模塑树脂导致的模具污染少、具有高脱模性的半导体树脂模塑用脱模膜。该脱模膜是一种气体屏蔽性半导体树脂模塑用脱模膜,至少具有脱模性优良的脱模层(I)和支持该脱模层(I)的塑料支持层(II),该脱模膜的特征在于,所述塑料支持层(II)在170℃下拉伸200%时的拉伸强度为1MPa~50MPa,且该脱模膜在170℃下的二甲苯气体透过性为5×10-15(kmol·m/(s·m2·kPa))以下。脱模层(I)较好的是由乙烯/四氟乙烯系共聚物等氟树脂形成,塑料支持层(II)较好的是由乙烯/乙烯醇共聚物形成。

    半导体树脂模塑用脱模膜

    公开(公告)号:CN101427358A

    公开(公告)日:2009-05-06

    申请号:CN200780014091.2

    申请日:2007-04-20

    Abstract: 本发明提供气体透过性显著较低,由模塑树脂导致的模具污染非常少,具有高脱模性的脱模膜。它是气体屏蔽性半导体树脂模塑用脱模膜,其特征在于,具有脱模性优良的脱模层(I)、支持该脱模层的塑料支持层(II)和由金属或金属氧化物构成的气体透过抑制层(III),该气体透过抑制层(III)形成于该脱模层和支持层之间,且该脱模膜在170℃下的二甲苯气体透过性为10-15(kmol·m/(s·m2·kPa))以下。脱模层(I)较好的是由乙烯/四氟乙烯系共聚物等氟树脂形成,此外作为金属氧化物层,较好的是氧化铝、氧化硅或氧化镁等的氧化物层。

    脱模膜、脱模性缓冲材料及印刷基板的制造方法

    公开(公告)号:CN101415546A

    公开(公告)日:2009-04-22

    申请号:CN200780012033.6

    申请日:2007-03-28

    Abstract: 本发明提供热压时不需要频繁地更换且更换容易的脱模膜、可以抑制缓冲材料主体的更换频率的脱模性缓冲材料以及可以生产性好且低成本地制造印刷基板的印刷基板的制造方法。作为设于由硅橡胶形成的缓冲材料的表面的脱模膜10,在由含氟树脂形成的基材12的一面具有含Si的层14的脱模膜10;在由硅橡胶形成的缓冲材料的表面以含Si的层位于缓冲材料侧的方式设有脱模膜的脱模性缓冲材料;将印刷基板主体和覆盖膜的层叠物以加压板夹住进行热压时,在缓冲材料的覆盖膜侧的表面以含Si的层位于缓冲材料侧的方式配置有脱模膜的印刷基板的制造方法。

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