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公开(公告)号：CN103459089A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201280017990.9
申请日：2012-04-06
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B24B37/00 , B24B37/20 , C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: H01L21/02024 , C09G1/02 , C09K3/1463
Abstract: 本发明涉及一种研磨剂，用于对研磨对象物的被研磨面进行研磨，其中，含有平均一次粒径为5～30nm的第一氧化硅微粒、平均一次粒径为40～125nm的第二氧化硅微粒以及水，且所述第一氧化硅微粒在所述第一氧化硅微粒和第二氧化硅微粒的合计量中所占的比例为0.7质量%以上且低于60质量%。
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