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公开(公告)号：CN1400627A
公开(公告)日：2003-03-05
申请号：CN02127383.9
申请日：2002-07-30
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 冈田要 , 菊川信也
IPC: H01L21/00 , G03F7/00
CPC classification number: G03F1/64
Abstract: 薄膜包括具有上端和下端开口部分的箱形薄膜框架，以及与薄膜相粘结的薄膜片，以覆盖薄膜框架的一个开口部分，其中，薄膜框架是采用石英玻璃制成的，所制成的多个通气孔分布在薄膜框架的相对侧壁上，并且通气孔在薄膜框架高度方向上的尺寸约为薄膜框架高度的3/5。
