公开(公告)号：CN100565211C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200480038743.2

申请日：2004-12-24

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 武枪德久 ,  池田由夫

IPC: G01P15/12 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0842

Abstract: 提供一种半导体型三轴加速度传感器，其抗冲击性高，X轴、Y轴和Z轴压电电阻输出之间的差异小，尺寸小，灵敏度高，输出高。挠性臂由挠性加宽部分和挠性平行部分构成。挠性加宽部分具有最大应力部分。压电电阻排列在挠性臂的上表面上以使压电电阻的一端位于最大应力部分。Z轴压电电阻的位置靠近挠性臂的宽度中心线，而X轴和Y轴压电电阻远离宽度中心线。而且，Z轴压电电阻沿着挠性臂的长度方向从最大应力部分移动以减小X轴、Y轴和Z轴压电电阻之间的输出差。

公开(公告)号：CN1898571A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200480038743.2

申请日：2004-12-24

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 武枪德久 ,  池田由夫

IPC: G01P15/12 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0842

Abstract: 提供一种半导体型三轴加速度传感器，其抗冲击性高，X轴、Y轴和Z轴压电电阻输出之间的差异小，尺寸小，灵敏度高，输出高。挠性臂由挠性加宽部分和挠性平行部分构成。挠性加宽部分具有最大应力部分。压电电阻排列在挠性臂的上表面上以使压电电阻的一端位于最大应力部分。Z轴压电电阻的位置靠近挠性臂的宽度中心线，而X轴和Y轴压电电阻远离宽度中心线。而且，Z轴压电电阻沿着挠性臂的长度方向从最大应力部分移动以减小X轴、Y轴和Z轴压电电阻之间的输出差。