公开(公告)号：CN105316625B

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201510245745.9

申请日：2015-05-14

Applicant: 日立造船株式会社

Inventor： 金信真理子 ,  藤本英志 ,  大工博之 ,  松本祐司 ,  千住直辉

IPC: C23C14/24

Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置。材料供给装置(3)向用于在基板(K)上形成薄膜的蒸镀用容器(1)内供给蒸镀材料，材料供给装置(3)包括：材料填充容器(11)，填充有蒸镀材料；材料引导管道(12)，利用从气体供给装置(14)供给的不活泼气体，将蒸镀材料从材料填充容器(11)向蒸镀用容器(1)内引导；加热器(17)，加热所述材料引导管道(12)以使蒸镀材料气化；以及振动赋予器(13)，对材料填充容器(11)赋予振动。

公开(公告)号：CN105316625A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510245745.9

申请日：2015-05-14

Applicant: 日立造船株式会社

Inventor： 金信真理子 ,  藤本英志 ,  大工博之 ,  松本祐司 ,  千住直辉

IPC: C23C14/24

Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置。材料供给装置(3)向用于在基板(K)上形成薄膜的蒸镀用容器(1)内供给蒸镀材料，材料供给装置(3)包括：材料填充容器(11)，填充有蒸镀材料；材料引导管道(12)，利用从气体供给装置(14)供给的不活泼气体，将蒸镀材料从材料填充容器(11)向蒸镀用容器(1)内引导；加热器(17)，加热所述材料引导管道(12)以使蒸镀材料气化；以及振动赋予器(13)，对材料填充容器(11)赋予振动。