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公开(公告)号:CN103173729A
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN201210570188.4
申请日:2012-12-25
Applicant: 日立电线株式会社
Abstract: 本发明提供溅射用铜靶材以及溅射用铜靶材的制造方法。本发明在获得高成膜速度的同时,在含高熔点金属的膜上形成由低电阻的纯铜构成的溅射膜。本发明的溅射用铜靶材由纯度3N以上的无氧铜形成,溅射面中的(111)面的取向率为13%以上30%以下,溅射面中的(200)面的取向率为10%以上50%以下,平均结晶粒径为0.1mm以上0.2mm以下。
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公开(公告)号:CN102445101A
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN201110043858.2
申请日:2011-02-22
Applicant: 日立电线株式会社
IPC: F28F1/42
Abstract: 本发明提供能够抑制压力损失并提高传热性能的带内面槽的波纹管及换热器。本发明的带内面槽的波纹管具备:具有内周面及外周面的主管;设置在内周面上的多个散热片;多个散热片之间的多个槽;以及设置在外周面上的波纹槽,在波纹槽的深度为Hc,主管的外径为OD的情况下,满足0.04≤Hc/OD,在多个散热片的高度为Hf,主管的最大内径为ID的情况下,满足0.022{30.7×(Hc/OD)+1.13}^(-0.5)≤Hf/ID≤0.037,在波纹槽的波纹间距为Pc的情况下,满足1.1≤Pc/ID。
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公开(公告)号:CN102994962A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201210089149.2
申请日:2012-03-29
Applicant: 日立电线株式会社
IPC: C23C14/34 , H01L23/498 , H01L29/786
Abstract: 本发明提供圆筒型溅射靶材、使用其的配线基板以及薄膜晶体管。本发明的课题在于实现从圆筒型溅射靶材的外周面侧直至内周面侧的溅射速度的均一化。作为解决本发明课题的方法是,由纯度3N以上的无氧铜形成并具有圆筒形状的圆筒型溅射靶材(20),从外周面(21)侧向着内周面(22)侧硬度逐渐增加,同时,从外周面(21)侧向着内周面(22)侧(111)面的取向率逐渐增加。
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公开(公告)号:CN101021393A
公开(公告)日:2007-08-22
申请号:CN200710006526.0
申请日:2007-02-02
Applicant: 日立电线株式会社
Abstract: 本发明提供一种热交换器用传热管以及使用其的热交换器,其即便在如热泵式热水器那样的水流速小的使用方式中,也可提高热交换器的传热性能。热交换器(100),由以下部件构成:波纹传热管(10),其在将波纹槽深度设为Hc,并将波纹外径设为OD时,0.04≤Hc/OD,在将波纹槽与管轴(Ta)所成的角作为扭曲角βc时,βc≥40°;以及,外管(11),其配置在波纹传热管(10)的外侧。
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