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1.

发明授权
热式流量计有权

公开(公告)号：CN111033186B

公开(公告)日：2022-01-07

申请号：CN201880045761.5

申请日：2018-07-17

Applicant: 日立安斯泰莫株式会社

Inventor： 上之段晓 , 余语孝之 , 渡边翼 , 三木崇裕 , 田代忍 , 星加浩昭

IPC: G01F1/684

Abstract: 本发明提供一种相较于以往而言可以减少流量精度的降低以及可靠性的降低还有热式流量计的成本增加、可以进行静电散逸机构的功能追加的热式流量计。本发明的热式流量计(1)具有：副通道(200)，其收取在主通道中流动的被测量气体(5)的一部分；流量测量部(300)的流量检测元件，其配置在副通道(200)内；电路封装件(301)，其支承流量检测元件；以及电路基板(101)，其固定电路封装件(301)。流量检测元件具有检测被测量气体的流量的检测面，检测面与电路基板(101)相对配置。电路基板(101)在与流量检测元件的检测面相对的位置上配置有GND电位的线路(309)。

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