半导体装置、半导体装置的制造方法和粘接剂

    公开(公告)号:CN111480218A

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN201780097759.8

    申请日:2017-12-18

    Abstract: 本发明公开一种制造半导体装置的方法,其具备如下工序:使具有连接部的第一构件与具有连接部的第二构件通过热固性粘接剂在低于第一构件的连接部的熔点和第二构件的连接部的熔点的温度下进行压接,从而得到第一构件的连接部与第二构件的连接部相对配置的临时压接体的工序;将临时压接体夹在相对配置的一对挤压构件之间,一边加热至大于或等于第一构件的连接部或第二构件的连接部中至少一方的熔点的温度一边加压,从而得到压接体的工序;以及将压接体在加压气氛下进一步加热的工序。第一构件为半导体芯片或半导体晶片,第二构件为配线电路基板、半导体芯片或半导体晶片。

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