公开(公告)号：CN101000462B

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN200710001703.6

申请日：2007-01-12

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 荻野雅彦 ,  锻治诚 ,  赖华子

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F2/48 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08F220/18 ,  C08F222/1006 ,  C09D4/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明涉及含有(甲基)丙烯酸酯单体和/或低聚物及光聚合引发剂的光固化性树脂组合物，上述(甲基)丙烯酸酯单体和/或低聚物组合物含有环状结构，上述环状结构中碳的原子量Mcr和组合物中的全部碳的原子量MTOT的关系为Mcr/MTOT>0.1，或上述环状结构中的全部原子数N、上述组合物中的全部碳的原子数Nc和全部氧原子数No的关系为N/(Nc-No)

公开(公告)号：CN101000462A

公开(公告)日：2007-07-18

申请号：CN200710001703.6

申请日：2007-01-12

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 荻野雅彦 ,  锻治诚 ,  赖华子

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F2/48 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08F220/18 ,  C08F222/1006 ,  C09D4/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明涉及含有(甲基)丙烯酸酯单体和/或低聚物及光聚合引发剂的光固化性树脂组合物，上述(甲基)丙烯酸酯单体和/或低聚物组合物含有环状结构，上述环状结构中碳的原子量Mcr和组合物中的全部碳的原子量MTOT的关系为Mcr/MTOT＞0.1，或上述环状结构中的全部原子数N、上述组合物中的全部碳的原子数Nc和全部氧原子数No的关系为N/(Nc－No)＜4，组合物的运动粘度为10mPa·s以下。该树脂组合物是可以用于光纳米印制的低粘度而干蚀刻性优异的光固化性树脂。