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公开(公告)号：CN1208650C
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN98809678.1
申请日：1998-10-01
Applicant: 日立化成工业株式会社 , 小柳光正
CPC classification number: G02B6/4246 , G02B6/122 , G02B6/4214 , G02B2006/12104
Abstract: 易于制造内设有微反射镜以相对于基片的表面的上方反射和接收传输光的光波导的制造方法。此方法包括于基片(10)上形成表面上具有带斜侧面的凸部的包层(12)的第一工序，于此包层(12)的凸部斜侧面上形成反射膜(13)的第二工序，以及于此包层(12)的凸部斜侧面上形成光波导(14)的第三工序。所述凸部是由各向同性腐蚀工艺形成的。
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公开(公告)号：CN1272181A
公开(公告)日：2000-11-01
申请号：CN98809677.3
申请日：1998-10-01
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G02B6/4246 , G02B6/42 , G02B6/4214 , G02B6/43 , G02B2006/12104
Abstract: 用于将电路的I/O信号通过光发射/接收元件变换为光信号并经由光波导传输的光信号处理设备,其中简化了光波导和光发射/接收元件间的调准操作。此光信息处理设备包括上面形成有光波导(14)的波导基片(10)和与此光波导(14)相对地安装在此基片(10)上的电路基片(100)。在光波导(14)之下设有用来接收通过光波导(14)传输的光的光接收元件(101),而电路基片(100)上的电路则与此光接收元件(101)相连。
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公开(公告)号：CN1196004C
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN98809677.3
申请日：1998-10-01
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G02B6/4246 , G02B6/42 , G02B6/4214 , G02B6/43 , G02B2006/12104
Abstract: 用于将电路的I/O信号通过光发射/接收元件变换为光信号并经由光波导传输的光信息处理设备，其中简化了光波导和光发射/接收元件间的调准操作。此光信息处理设备包括上面形成有光波导(14)的波导基片(10)和与此光波导(14)相对地安装在此基片(10)上的电路基片(100)。在光波导(14)之下设有用来接收通过光波导(14)传输的光的光接收元件(101)，而电路基片(100)上的电路则与此光接收元件(101)相连。
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公开(公告)号：CN1272182A
公开(公告)日：2000-11-01
申请号：CN98809678.1
申请日：1998-10-01
Applicant: 日立化成工业株式会社 , 小柳光正
CPC classification number: G02B6/4246 , G02B6/122 , G02B6/4214 , G02B2006/12104
Abstract: 易于制造内设有微反射镜以相对于基片的表面的上方反射和接收传输光的光波导的制造方法。此方法包括于基片(10)上形成表面上具有带斜侧面的凸部的包层(12)的第一工序,于此包层(12)的凸部斜侧面上形成反射膜(13)的第二工序,以及于此包层(12)的凸部斜侧面上形成光波导(14)的第三工序。所述凸部是由各向同性腐蚀工艺形成的。
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