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公开(公告)号：CN104414621A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410072077.X
申请日：2014-02-28
Applicant: 日立乐金光科技株式会社
IPC: A61B5/00
CPC classification number: G01B9/02091 , G01B9/02027 , G01B9/02038 , G01B2290/45
Abstract: 本发明提供一种抑制层间串扰和散斑等因光学干涉引起的噪声的小型且价廉的光学测量装置和光学层析方法。光学测量装置包括：出射激光的光源；在驱动上述光源的驱动电流上叠加高频电流的高频叠加单元；使上述激光分束为信号光和参考光的光分束元件；使上述信号光会聚照射在测量对象上的物镜；使上述信号光的会聚位置扫描的会聚位置扫描单元；调整上述信号光与上述参考光之间的光程差的光程差调整单元；使被上述测量对象反射或散射的信号光与上述参考光合束，生成相位关系彼此不同的多束干涉光的干涉光学系统；和检测上述干涉光的光检测器。
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公开(公告)号：CN104414621B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201410072077.X
申请日：2014-02-28
Applicant: 日立乐金光科技株式会社
IPC: A61B5/00
CPC classification number: G01B9/02091 , G01B9/02027 , G01B9/02038 , G01B2290/45
Abstract: 本发明提供一种抑制层间串扰和散斑等因光学干涉引起的噪声的小型且价廉的光学测量装置和光学层析方法。光学测量装置包括：出射激光的光源；在驱动上述光源的驱动电流上叠加高频电流的高频叠加单元；使上述激光分束为信号光和参考光的光分束元件；使上述信号光会聚照射在测量对象上的物镜；使上述信号光的会聚位置扫描的会聚位置扫描单元；调整上述信号光与上述参考光之间的光程差的光程差调整单元；使被上述测量对象反射或散射的信号光与上述参考光合束，生成相位关系彼此不同的多束干涉光的干涉光学系统；和检测上述干涉光的光检测器。
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公开(公告)号：CN103852168B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310544585.9
申请日：2013-11-06
Applicant: 日立乐金光科技株式会社
CPC classification number: G01B9/02091 , G01B9/02081 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: 提供一种测光装置，能够以比现有技术少的测定次数取得测定对象的偏振光信息。具有以下构成：把从光源（101）射出的光分支成照射到测定对象（107）的检查光和不照射到测定对象的参照光，把检查光通过被测定对象反射或散射而得到的信号光分离成相互正交的两个偏振分量即第一分支信号光和第二分支信号光，使第一分支信号光和参照光输入到第一干涉光学系统（113a）而相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光，使第二分支信号光和上述参照光输入到第二干涉光学系统（113b）而相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光，检测出由第一干涉光学系统生成的干涉光和由第二干涉光学系统生成的干涉光。
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