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公开(公告)号:CN103961059B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201310544611.8
申请日:2013-11-06
Applicant: 日立乐金光科技株式会社
Abstract: 本发明提供一种光断层观察装置以及光断层观察方法,通过与OCT不同的手法进行光断层观察,同时显示检查对象物质的断层方向分布。将从光源单元(103)射出的包含不同波长的激光的光束分割为2个光束,使第1光束通过物镜(123)聚光到试样(124),第2光束不照射到试样而作为参照光。使从试样反射的信号光和参照光通过偏振光分束器(119)合波,在光检测单元(103)中,使信号光和参照光在4个光检测器上以相互不同的相位关系干涉。信号处理部(105)针对每个波长进行以多个光检测器的输出为输入的运算来取得检测信号,针对试样内的每个位置,计算检测信号相对不同的波长的比,从而求出试样内的检查对象的断层分布。
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公开(公告)号:CN103852168B
公开(公告)日:2015-10-28
申请号:CN201310544585.9
申请日:2013-11-06
Applicant: 日立乐金光科技株式会社
CPC classification number: G01B9/02091 , G01B9/02081 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: 提供一种测光装置,能够以比现有技术少的测定次数取得测定对象的偏振光信息。具有以下构成:把从光源(101)射出的光分支成照射到测定对象(107)的检查光和不照射到测定对象的参照光,把检查光通过被测定对象反射或散射而得到的信号光分离成相互正交的两个偏振分量即第一分支信号光和第二分支信号光,使第一分支信号光和参照光输入到第一干涉光学系统(113a)而相干涉,生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光,使第二分支信号光和上述参照光输入到第二干涉光学系统(113b)而相干涉,生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光,检测出由第一干涉光学系统生成的干涉光和由第二干涉光学系统生成的干涉光。
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