公开(公告)号：CN110612361B

公开(公告)日：2022-01-25

申请号：CN201880030988.2

申请日：2018-05-09

Applicant: 日本ITF株式会社

Inventor： 大城竹彦 ,  福谷友佳子 ,  三宅浩二

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/24 ,  C23C16/26

Abstract: 本发明涉及一种硬质碳膜与其制造方法及滑动构件。所述硬质碳膜，其为形成滑动构件的滑动面的硬质碳膜，含有与碳原子键结的封端用原子，具有一部分自表面突出的多个隆起状形态部，并且多个隆起状形态部的周围分别由封端用原子封端。一种硬质碳膜的制造方法，其为使用将石墨作为蒸发源的电弧蒸镀法在滑动构件的滑动面成膜硬质碳膜的硬质碳膜的制造方法，导入含有与碳原子键结的封端用原子的气体，并且一边利用封端用原子与碳原子键结使多个隆起状形态部周围进行封端，一边使多个隆起状形态部在硬质碳膜的表面成长。

公开(公告)号：CN110612361A

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201880030988.2

申请日：2018-05-09

Applicant: 日本ITF株式会社

Inventor： 大城竹彦 ,  福谷友佳子 ,  三宅浩二

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/24 ,  C23C16/26

Abstract: 提供一种硬质碳膜的制造技术，所述硬质碳膜于在含有MoDTC的油中滑动时，除了发挥优异的耐磨耗性以外，也可一边抑制研磨处理等所致的成本增高或工夫的产生一边使滑动面平滑化而发挥充分的低摩擦性。一种硬质碳膜，其为形成滑动构件的滑动面的硬质碳膜，含有与碳原子键结的封端用原子，具有一部分自表面突出的多个隆起状形态部，并且多个隆起状形态部的周围分别由封端用原子封端。一种硬质碳膜的制造方法，其为使用将石墨作为蒸发源的电弧蒸镀法在滑动构件的滑动面成膜硬质碳膜的硬质碳膜的制造方法，导入含有与碳原子键结的封端用原子的气体，并且一边利用封端用原子与碳原子键结使多个隆起状形态部周围进行封端，一边使多个隆起状形态部在硬质碳膜的表面成长。