公开(公告)号：CN109073677B

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN201780022545.4

申请日：2017-03-21

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 深见美行 ,  清藤英博 ,  小田部升

IPC: G01R1/06 ,  G01R1/07 ,  G01R1/073 ,  G01R31/302 ,  H01L21/66

Abstract: 提供使探针的针尖部的高度不均的调节及与被检查体之间的平行度的调节变得简便的探针卡。探针卡1具有在内部、表面等具有布线4的布线基板2、多个探针3和电介质膜6。对于电介质膜6而言，以在与探针3的针尖部13相比更远离布线基板2的位置处，一个面21与作为布线基板2的探针设置面的主表面8相对且还与针尖部13相对的方式，相对于布线基板2的主表面8隔开间隔地配置。当对被检查体进行检查时，探针卡1构成如下状态：针尖部13夹着电介质膜6而与被检查体的电极相对。将从检查装置向探针3供给的检查信号设为交流信号，探针卡1使针尖部13和被检查体的电极电容耦合，从而传输检查信号。

公开(公告)号：CN109073677A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780022545.4

申请日：2017-03-21

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 深见美行 ,  清藤英博 ,  小田部升

IPC: G01R1/06 ,  G01R1/07 ,  G01R1/073 ,  G01R31/302 ,  H01L21/66

Abstract: 提供使探针的针尖部的高度不均的调节及与被检查体之间的平行度的调节变得简便的探针卡。探针卡1具有在内部、表面等具有布线4的布线基板2、多个探针3和电介质膜6。对于电介质膜6而言，以在与探针3的针尖部13相比更远离布线基板2的位置处，一个面21与作为布线基板2的探针设置面的主表面8相对且还与针尖部13相对的方式，相对于布线基板2的主表面8隔开间隔地配置。当对被检查体进行检查时，探针卡1构成如下状态：针尖部13夹着电介质膜6而与被检查体的电极相对。将从检查装置向探针3供给的检查信号设为交流信号，探针卡1使针尖部13和被检查体的电极电容耦合，从而传输检查信号。