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公开(公告)号：CN109416505A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780042244.8
申请日：2017-06-30
Abstract: 本发明提供：一种能够有效地抑制因贴附防护膜组件(1)而引起的曝光原版(8)的变形、且不具有复杂形状的防护膜框架(2)；使用该防护膜框架的防护膜组件；以及，能够降低在聚光灯下表面晃眼的缺陷、且为了容易地进行使用前的异物附着检查等而黑色化的防护膜框架的制造方法。一种防护膜框架，其特征在于：在铝合金制框架的表面具有阳极氧化膜，该铝合金制框架由铝合金构成，该铝合金含有5.0～10.0质量％的Ca且剩余部分为铝和不可避免的杂质，该铝合金中作为分散相的Al4Ca相的面积(体积)率为25％以上，该Al4Ca相的一部分的晶体结构是单斜晶，并且，分散于阳极氧化膜的Al4Ca相被阳极氧化，阳极氧化膜被黑色染料染色。
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公开(公告)号：CN109416505B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN201780042244.8
申请日：2017-06-30
Abstract: 本发明提供：一种能够有效地抑制因贴附防护膜组件(1)而引起的曝光原版(8)的变形、且不具有复杂形状的防护膜框架(2)；使用该防护膜框架的防护膜组件；以及，能够降低在聚光灯下表面晃眼的缺陷、且为了容易地进行使用前的异物附着检查等而黑色化的防护膜框架的制造方法。一种防护膜框架，其特征在于：在铝合金制框架的表面具有阳极氧化膜，该铝合金制框架由铝合金构成，该铝合金含有5.0～10.0质量％的Ca且剩余部分为铝和不可避免的杂质，该铝合金中作为分散相的Al4Ca相的面积(体积)率为25％以上，该Al4Ca相的一部分的晶体结构是单斜晶，并且，分散于阳极氧化膜的Al4Ca相被阳极氧化，阳极氧化膜被黑色染料染色。
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公开(公告)号：CN106687860A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201580026872.8
申请日：2015-05-11
Applicant: 日本轻金属株式会社
Abstract: 一种表皮用的支承框(1A)，具有铝合金制的框体(10)，在框体(10)的正面(10a)粘接有表皮覆膜，在框体(10)的背面粘接有玻璃基板。在框体(10)的表面(10a)形成有正面侧的凹槽(31～33)，所述正面侧的凹槽(31～33)沿着框体(10)的周向延伸，并且形成有正面侧的抽吸孔(50)，所述正面侧的抽吸孔(50)从框体(10)的外周面(10c)直至正面侧的凹槽(31～33)的内表面。在所述结构中，能够在不将其它部件按压到表皮覆膜的情况下，将表皮覆膜粘接于框体(10)。
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公开(公告)号：CN106687860B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201580026872.8
申请日：2015-05-11
Applicant: 日本轻金属株式会社
Abstract: 一种表皮用的支承框(1A)，具有铝合金制的框体(10)，在框体(10)的正面(10a)粘接有表皮覆膜，在框体(10)的背面粘接有玻璃基板。在框体(10)的表面(10a)形成有正面侧的凹槽(31～33)，所述正面侧的凹槽(31～33)沿着框体(10)的周向延伸，并且形成有正面侧的抽吸孔(50)，所述正面侧的抽吸孔(50)从框体(10)的外周面(10c)直至正面侧的凹槽(31～33)的内表面。在所述结构中，能够在不将其它部件按压到表皮覆膜的情况下，将表皮覆膜粘接于框体(10)。
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公开(公告)号：CN119816782A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202380061968.2
申请日：2023-08-22
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本公开中，异物去除装置具备：产生真空紫外光的真空紫外光产生部；用于对防护膜照射所述真空紫外光的照射容器；以及向所述照射容器供给非活性气体的气体供给部。所述照射容器具有：照射室，其设置有用于供给所述非活性气体的气体供给口和用于排出所述非活性气体的气体排出口；透过部，其位于所述照射室的边界处，使所述真空紫外光透过；和载台，其配置于所述照射室内且用于载置所述防护膜。所述气体供给部与所述气体供给口连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112154376B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN201980031898.X
申请日：2019-06-12
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , H01L21/673
Abstract: 提供支撑框、在该支撑框上设置有极紫外光光刻用的防护膜的防护膜组件、和支撑框的制造方法、以及使用它们的曝光原版和曝光装置，该支撑框在通气孔上设置有能够容易装卸的过滤器，并能够设置极紫外光光刻用的防护膜。提供的防护膜组件用支撑框，具有第一支撑框部、第二支撑框部和过滤器，所述过滤器具有平板状的框形状，被所述第一支撑框部和所述第二支撑框部夹持，所述第一支撑框部具有：第一主体部，具有平板状的框形状；以及第一卡合部，从所述第一主体部向所述防护膜组件用支撑框的厚度方向突出，所述第二支撑框部具有：第二主体部，具有平板状的框形状；以及第二卡合部，配置在所述第二主体部的沿所述防护膜组件用支撑框的厚度方向设置的凹部，并与所述第一卡合部卡合。
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公开(公告)号：CN112088334A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201980017088.9
申请日：2019-03-01
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供抑制了从粘接层产生释气的防护膜组件。防护膜组件(100)具有：防护膜(101)；支撑上述防护膜的支撑框(103)；设置于上述支撑框的突起部(105)；设置于上述突起部的第1粘接层(107)；以及无机物层，上述无机物层与上述第1粘接层相比设置在上述防护膜所处的一侧。上述无机物层可以包含第1无机物层(109)，上述第1无机物层(109)设置于上述第1粘接层中作为与上述防护膜交叉的方向的侧面的、上述防护膜所处一侧的第1侧面(121)。
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公开(公告)号：CN109313385A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780035395.0
申请日：2017-06-20
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供尘埃等的附着降低了的EUV用防护膜、防护膜组件框体、防护膜组件及其制造方法。本发明提供防护膜组件的制造方法，在基板(200)上形成防护膜(202)，在上述基板的与形成有上述防护膜的面相反侧的面上形成金属的掩模(204)，从上述金属掩模侧除去上述基板的一部分，除去上述金属掩模。根据本发明的一个实施方式，本发明能够提供尘埃等的附着降低了的EUV用防护膜、防护膜组件框体、防护膜组件及其制造方法。
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