公开(公告)号：CN105177251B

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201510319304.9

申请日：2015-06-11

Applicant: 日本碍子株式会社 ,  NGK凯伦泰克株式会社

Inventor： 志村知昭 ,  桥本孝彦

IPC: C21D1/74 ,  C21D11/00

Abstract: 在本发明中，基于第一、第二氧气传感器检测出的处理空间(11a)的氧气浓度与氧气浓度的目标值Ct，在操作量上限值到操作量下限值的操作量范围内，通过反馈控制来决定操作量MV1。接着，导出操作流量MV2，其中，所述操作流量MV2为将操作量范围换算成限制范围时、对已决定的操作量MV1进行换算后的值，其中所述限制范围是对由MFC 34可调整氢气流量的流量范围进行减小上限侧值及提高下限侧值中的至少一种而缩小的范围。之后，向MFC34输出所导出的操作流量MV2。

公开(公告)号：CN105177251A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510319304.9

申请日：2015-06-11

Applicant: 日本碍子株式会社 ,  NGK凯伦泰克株式会社

Inventor： 志村知昭 ,  桥本孝彦

IPC: C21D1/74 ,  C21D11/00

Abstract: 在本发明中，基于第一、第二氧气传感器检测出的处理空间(11a)的氧气浓度与氧气浓度的目标值Ct，在操作量上限值到操作量下限值的操作量范围内，通过反馈控制来决定操作量MV1。接着，导出操作流量MV2，其中，所述操作流量MV2为将操作量范围换算成限制范围时、对已决定的操作量MV1进行换算后的值，其中所述限制范围是对由MFC 34可调整氢气流量的流量范围进行减小上限侧值及提高下限侧值中的至少一种而缩小的范围。之后，向MFC34输出所导出的操作流量MV2。