公开(公告)号：CN118647758A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202280089166.8

申请日：2022-09-09

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 野中健太朗 ,  田村贵洋 ,  仓冈义孝

IPC: C30B29/38 ,  C30B19/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/205

Abstract: 即便使13族元素氮化物单晶基板上的外延生长层薄膜化，也能够将外延生长层的特性维持在较高水平。13族元素氮化物单晶基板2由13族元素氮化物单晶构成，且具有第一主面2a和第二主面2b。13族元素氮化物单晶基板2含有锌作为掺杂成分，第一主面2a的偏角为0.4°以上1.0°以下。

公开(公告)号：CN118632951A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202280089167.2

申请日：2022-10-14

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 野中健太朗 ,  田村贵洋 ,  前原宗太 ,  仓冈义孝

IPC: C30B29/38 ,  C30B25/20 ,  C23C16/34 ,  H01L21/20 ,  H01L21/205 ,  H01L21/208 ,  H01L29/80

Abstract: 针对具有13族元素氮化物单晶上的缓冲层、缓冲层上的厚度700nm以下的沟道层、以及沟道层上的势垒层的层叠体，抑制载流子面密度、载流子迁移率的降低。本层叠体1具备：13族元素氮化物单晶基板2，其由13族元素氮化物单晶构成，且具有第一主面2a及第二主面2b；缓冲层3，其设置在13族元素氮化物单晶基板2的第一主面2a上；沟道层4，其设置在缓冲层3上；以及势垒层5，其设置在沟道层4上。沟道层4的厚度为700nm以下，13族元素氮化物单晶基板2的第一主面2a的偏角为0.4°以上1.0°以下。