接合体和静电卡盘
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115551665A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202180034078.3

    申请日:2021-06-11

    Abstract: 接合体包括平板状的第1构件、平板状的第2构件以及配置于第1构件与第2构件之间并且将第1构件和第2构件接合起来的接合部,接合部具有:第1接合层,其由第1接合材料构成,配置于第1构件侧;第2接合层,其由第2接合材料构成,配置于第2构件侧;以及金属层,其配置于第1接合层与第2接合层之间,形成有彼此连通的多个孔,呈平板状,该金属层具有:配置于第1接合层侧并且第1接合材料浸渗到多个孔中的第1接合材料浸渗层、配置于第2接合层侧并且第2接合材料浸渗到多个孔中的第2接合材料浸渗层以及配置于第1接合材料浸渗层与第2接合材料浸渗层之间并且多个孔为空的空孔层。

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