传感器元件、气体传感器以及传感器元件的制造方法

    公开(公告)号:CN116908266A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202310397809.1

    申请日:2023-04-14

    Abstract: 本发明提供抑制因多孔质保护层引起的检测精度降低的传感器元件、气体传感器以及传感器元件的制造方法。传感器元件(100)包括:检测元件部(300),其设有至少一个元件(130、140),该元件具有固体电解质体(105、109)和配置于该固体电解质体的一对电极(104、106、108、110);测量室(107c),其与一对电极中的一个电极面对;以及扩散电阻部(115),其将测量对象气体从外部向测量室导入,该传感器元件还包括多孔质保护层(21),该多孔质保护层与扩散电阻部直接接触且至少覆盖扩散电阻部,多孔质保护层具有成为骨架的陶瓷颗粒和在陶瓷颗粒的间隙形成的气孔,以气孔的平均直径D1(nm)/陶瓷颗粒的累计个数为50%的粒径D2(nm)表示的直径比R为100以下。

    气体传感器元件的制造方法

    公开(公告)号:CN108572210B

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN201810185342.3

    申请日:2018-03-07

    Abstract: 本发明提供一种气体传感器元件的制造方法,其能够维持多孔保护层的强度并且以低成本形成,并且能够确保检测部的角部的厚度。一种气体传感器元件的制造方法,对于沿轴线(O)方向延伸且在自身的前端侧具有检测部(10)的板状的气体传感器元件(100),在该检测部的周围形成多孔保护层(20),所述检测部(10)用于检测被测定气体中的特定气体成分,其中,通过原料粉末的加压成型形成至少最外层的多孔保护层。

    层叠型气体传感器元件及其制造方法、以及气体传感器

    公开(公告)号:CN102012393B

    公开(公告)日:2013-11-06

    申请号:CN201010275848.7

    申请日:2010-09-03

    CPC classification number: G01N27/4071

    Abstract: 提供一种能够进一步抑制气体传感器元件由于附着水而产生裂纹的层叠型气体传感器元件及其制造方法、以及气体传感器。层叠型气体传感器元件具有层叠检测元件和加热器元件的结构,该检测元件在固体电解质体上具备一对电极,该加热器元件的内部具有电阻发热体。在层叠型气体传感器元件中的至少暴露于测量对象气体中的前端部形成有多孔质保护层。在多孔质保护层的表面的50μm×50μm的区域内存在十个以上直径为1μm以上且5μm以下并且长径短径之比为0.5以上且2.0以下的小孔,并且在100μm×100μm的区域内存在一个以上且小于二十个的直径为8μm以上且20μm以下并且长径短径之比为0.5以上且2.0以下的大孔。

    层叠型气体传感器元件及其制造方法、以及气体传感器

    公开(公告)号:CN102012393A

    公开(公告)日:2011-04-13

    申请号:CN201010275848.7

    申请日:2010-09-03

    CPC classification number: G01N27/4071

    Abstract: 提供一种能够进一步抑制气体传感器元件由于附着水而产生裂纹的层叠型气体传感器元件及其制造方法、以及气体传感器。层叠型气体传感器元件具有层叠检测元件和加热器元件的结构,该检测元件在固体电解质体上具备一对电极,该加热器元件的内部具有电阻发热体。在层叠型气体传感器元件中的至少暴露于测量对象气体中的前端部形成有多孔质保护层。在多孔质保护层的表面的50μm×50μm的区域内存在十个以上直径为1μm以上且5μm以下并且长径短径之比为0.5以上且2.0以下的小孔,并且在100μm×100μm的区域内存在一个以上且小于二十个的直径为8μm以上且20μm以下并且长径短径之比为0.5以上且2.0以下的大孔。

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