公开(公告)号：CN109119372B

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN201810670588.X

申请日：2018-06-26

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 小野寺教夫 ,  手岛贵志

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种能够谋求长期以良好的平面度保持基板的基板保持构件。基板保持构件(1)包括：基台(10)；以及多个凸部(20)，该多个凸部(20)形成于基台(10)的上表面且能够在顶面(20a)保持基板。各凸部(20)具有自基台(10)的上表面起延伸的根部(21)和形成在根部(21)之上且包含顶面(20a)的顶部(22)。对于凸部(20)而言，根部(21)的截面积(S1)大于顶部(22)的截面积(S2)，顶部(22)的包含顶面(20a)的至少一部分由保持构件(30)形成，该保持构件(30)由杨氏模量比用于形成基台(10)的材质的杨氏模量大的材质形成，各保持构件(30)相互分开。

公开(公告)号：CN109119372A

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：CN201810670588.X

申请日：2018-06-26

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 小野寺教夫 ,  手岛贵志

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种能够谋求长期以良好的平面度保持基板的基板保持构件。基板保持构件(1)包括：基台(10)；以及多个凸部(20)，该多个凸部(20)形成于基台(10)的上表面且能够在顶面(20a)保持基板。各凸部(20)具有自基台(10)的上表面起延伸的根部(21)和形成在根部(21)之上且包含顶面(20a)的顶部(22)。对于凸部(20)而言，根部(21)的截面积(S1)大于顶部(22)的截面积(S2)，顶部(22)的包含顶面(20a)的至少一部分由保持构件(30)形成，该保持构件(30)由杨氏模量比用于形成基台(10)的材质的杨氏模量大的材质形成，各保持构件(30)相互分开。