气敏元件
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1825102B

    公开(公告)日:2010-04-21

    申请号:CN200610009422.0

    申请日:2006-02-22

    CPC classification number: G01N27/125

    Abstract: 本发明提供一种即使在高温和高湿度环境下使用时也具有极好防潮性能的气敏元件。根据本发明,一种气敏元件(1)包括:硅衬底(2);主要由SnO2构成并且形成于硅衬底(2)上的金属氧化物半导体部分(41);以及由Pd构成并且分散在金属氧化物半导体部分(41)的表面上的催化部分(42),其中金属氧化物半导体部分(41)和催化部分(42)构成气敏部分(4)。而且,主要由SiO2构成的绝缘部分(7)分散地形成于气敏部分(4)的表面上。而且,催化部分(42)和绝缘部分(7)形成于金属氧化物半导体部分(41)的表面上,以使得具有绝缘部分(7)的气敏部分(4)的由Si/(Pd+Si)表示的代表Si与Pd的原子数目比值的表面添加比值可以为65%或者更大至97%或更小,并且使得气敏部分(4)的由Si/(Sn+Si)表示的代表Si与Sn的原子数目比值的表面添加比值可以为75%或者更大至97%或更小。

    包装体、等离子体照射模块以及等离子体照射系统

    公开(公告)号:CN119014130A

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202280093842.9

    申请日:2022-12-02

    Abstract: 包装体(1)具有装卸部件(12)、包装装卸部件(12)的包装材料(2)、以及信息部(第一信息部(60B))。信息部包括控制装置(50)能够读取的信息。信息部包括存储装卸部件(12)的使用次数的存储部(第一存储部(60C))和记载有装卸部件(12)的识别信息的识别部(第一识别部(60D))中的至少一方。信息部设置于装卸部件(12)、包装材料(2)以及包装材料(2)内中的至少任一方。

    气敏元件
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1825102A

    公开(公告)日:2006-08-30

    申请号:CN200610009422.0

    申请日:2006-02-22

    CPC classification number: G01N27/125

    Abstract: 本发明提供一种即使在高温和高湿度环境下使用时也具有极好防潮性能的气敏元件。根据本发明,一种气敏元件(1)包括:硅衬底(2);主要由SnO2构成并且形成于硅衬底(2)上的金属氧化物半导体部分(41);以及由Pd构成并且分散在金属氧化物半导体部分(41)的表面上的催化部分(42),其中金属氧化物半导体部分(41)和催化部分(42)构成气敏部分(4)。而且,主要由SiO2构成的绝缘部分(7)分散地形成于气敏部分(4)的表面上。而且,催化部分(42)和绝缘部分(7)形成于金属氧化物半导体部分(41)的表面上,以使得具有绝缘部分(7)的气敏部分(4)的由Si/(Pd+Si)表示的代表Si与Pd的原子数目比值的表面添加比值可以为65%或者更大至97%或更小,并且使得气敏部分(4)的由Si/(Sn+Si)表示的代表Si与Sn的原子数目比值的表面添加比值可以为75%或者更大至97%或更小。

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