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公开(公告)号：CN107037071B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201611016231.7
申请日：2016-11-18
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供在不使装置大型化的情况下提高气体成分的检测精度的产生气体分析装置。产生气体分析装置（200）具备：加热部（10），加热试料（S）而产生气体成分（G）；检测机构（110），检测在加热部生成的气体成分；气体流路（41），连接加热部与检测机构之间，供气体成分与将该气体成分向检测机构引导的运载气体（C）的混合气体（M）流通；该产生气体分析装置的特征在于，气体流路具有向外部开放的分支路（42），分支路具有调整混合气体向外部的排出流量的排出流量调整机构（42a），还具备流量控制部（216），该流量控制部基于来自检测机构的检测信号控制排出流量调整机构，使得该检测信号在既定的范围内。
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公开(公告)号：CN104076826B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201410109862.8
申请日：2014-03-24
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明提供一种致动器的位置计算装置和位置计算方法，即使移动量检测传感器的分辨率比移动机构的最小移动量小，也可以高精度地计算移动机构的位置，可以实现致动器的成本降低。具有与每最小移动量ΔM生成的控制信号Ma～Mc、M0～M11成比例地朝一个方向移动的移动机构和以最小分辨率ΔS（其中，Ａ＝ΔＳ／ΔＭ≥2）检测移动机构的移动量的移动量检测传感器的致动器的位置计算装置具有：位置计算单元，其在设移动机构的目标位置处的控制信号为M0且设传感器信号为S0时，根据传感器信号为（Ｓ0＋ｍ×ΔＳ）或者（Ｓ0－ｍ×ΔＳ）的时刻T1时的控制信号（其中，m是1以上的自然数）计算在目标位置处的移动机构的位置SA。
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公开(公告)号：CN107238733A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201710178412.8
申请日：2017-03-23
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
CPC classification number: G01Q10/02 , G01Q10/065 , G01Q60/00 , G01B21/30 , G01Q20/02
Abstract: 本发明提供扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法，其在探针接触的试样表面是斜面的情况下能改善检测出探针与试样表面的接触的压接力的值相比于水平面产生变化的现象。该扫描型探针显微镜使探针与试样表面接触，利用上述探针扫描上述试样表面，具备：悬臂，其在前端具有上述探针；位移检测部，其检测上述悬臂的挠曲量和扭曲量；以及接触判定部，其根据由上述位移检测部检测到的无变形的悬臂中的全方位的挠曲量和扭曲量，判定上述探针对于上述试样表面的一次接触。
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公开(公告)号：CN106483337B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201610773686.7
申请日：2016-08-31
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01Q20/02
Abstract: 本发明涉及扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法。提供能够使用配置于扫描探针显微镜的物镜来自动地进行光杠杆的光轴调整的扫描探针显微镜和其光轴调整方法。是一种扫描探针显微镜（100），所述扫描探针显微镜（100）具备：悬臂支承部（11），以规定的安装角（θ）安装悬臂（4）；移动机构（21），对悬臂的位置进行调整；光源部（1），照射检测光（L0）；检测部（6），对检测光（L1）进行检测来对悬臂的移位进行检测；以及物镜（17），对悬臂的附近进行观察或拍摄，所述扫描探针显微镜（100）还具备控制单元（40），对使用物镜拍摄的检测光的光斑光的光斑位置（G1）进行检测，接着，对使用物镜拍摄的悬臂的位置（G2）进行检测，基于光斑位置、悬臂的位置、检测光（L0）的入射角（φ）、以及安装角，对移动机构进行控制，以使在将悬臂安装于悬臂支承部时在反射面反射检测光。
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公开(公告)号：CN106970173A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201611015746.5
申请日：2016-11-18
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 产生气体分析装置具备：试料架、加热试料而产生气体成分的加热部、将气体成分离子化而生成离子的离子源、对离子进行质量分析而检测气体成分的质量分析计、供气体成分与将其向质量分析计引导的运载气体的混合气体流通的气体流路，产生气体分析方法中具有：排出流量调整工序，调整分支路的混合气体向外部的排出流量；冷却工序，使试料架接触冷却部而对其进行冷却；补正工序，使用作为测定对象而包含气体成分的标准试料，（1）校正质谱的谱位置，（2）计算灵敏度补正系数Cs=Ss/S，（3）计算对测定实际的试料的气体成分时的加热部内的试料的加热速度进行补正的加热补正系数H=t/ts。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103196411B
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201310008801.8
申请日：2013-01-10
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明涉及扫描型探针显微镜的探针形状评价方法，用于在扫描型探针显微镜评价探针顶端形状。利用拥有针状构造的探针形状检测样本来测定探针顶端形状，求出从顶端起的多个距离处的剖面的半径，基于这些而算出将探针顶端形状近似为圆时的曲率半径。
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公开(公告)号：CN105320152B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201510397370.8
申请日：2015-07-08
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明提供一种三维微动装置，其利用在相比于移动体的微动相对不动的基体部或粗动部上固定的移动量检测单元直接检测固定有悬臂等移动体的固定部件的三维位置，由此能够简易且正确地测定固定部件以至移动体的位置。该三维微动装置(200A)具备：移动体(1)；固定部件(101)，所述移动体固定在该固定部件上；三维微动部(111)，所述固定部件固定在该三维微动部上，该三维微动部能够隔着该固定部件使移动体三维地微动；基体部(13)，三维微动部固定在该基体部上；以及移动量检测单元(130)，其固定于基体部来检测固定部件的移动量。
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公开(公告)号：CN107238733B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201710178412.8
申请日：2017-03-23
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法，其在探针接触的试样表面是斜面的情况下能改善检测出探针与试样表面的接触的压接力的值相比于水平面产生变化的现象。该扫描型探针显微镜使探针与试样表面接触，利用上述探针扫描上述试样表面，具备：悬臂，其在前端具有上述探针；位移检测部，其检测上述悬臂的挠曲量和扭曲量；以及接触判定部，其根据由上述位移检测部检测到的无变形的悬臂中的全方位的挠曲量和扭曲量，判定上述探针对于上述试样表面的一次接触。
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公开(公告)号：CN106970173B
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201611015746.5
申请日：2016-11-18
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 产生气体分析装置具备：试料架、加热试料而产生气体成分的加热部、将气体成分离子化而生成离子的离子源、对离子进行质量分析而检测气体成分的质量分析计、供气体成分与将其向质量分析计引导的运载气体的混合气体流通的气体流路，产生气体分析方法中具有：排出流量调整工序，调整分支路的混合气体向外部的排出流量；冷却工序，使试料架接触冷却部而对其进行冷却；补正工序，使用作为测定对象而包含气体成分的标准试料，（1）校正质谱的谱位置，（2）计算灵敏度补正系数Cs=Ss/S，（3）计算对测定实际的试料的气体成分时的加热部内的试料的加热速度进行补正的加热补正系数H=t/ts。
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公开(公告)号：CN107037071A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201611016231.7
申请日：2016-11-18
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供在不使装置大型化的情况下提高气体成分的检测精度的产生气体分析装置。产生气体分析装置（200）具备：加热部（10），加热试料（S）而产生气体成分（G）；检测机构（110），检测在加热部生成的气体成分；气体流路（41），连接加热部与检测机构之间，供气体成分与将该气体成分向检测机构引导的运载气体（C）的混合气体（M）流通；该产生气体分析装置的特征在于，气体流路具有向外部开放的分支路（42），分支路具有调整混合气体向外部的排出流量的排出流量调整机构（42a），还具备流量控制部（216），该流量控制部基于来自检测机构的检测信号控制排出流量调整机构，使得该检测信号在既定的范围内。
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