公开(公告)号：CN113436952A

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN202110302101.4

申请日：2021-03-22

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 大庭弘 ,  杉山安彦 ,  中川良知 ,  永原幸儿

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/305

Abstract: 提供在利用会聚离子束进行截面加工时改善截面形状、并且提高作业效率的会聚离子束加工装置。会聚离子束加工装置(100)具有离子源(21)、保持试样(200)的试样载台(50)、会聚透镜(22)、具有一边(24t)呈直线状的狭缝(24s)的光圈(24)、以及配置于光圈与试样台之间的射束路径的投射透镜(28)，在试样加工出截面，当基于柯拉照明法会聚离子束(20A)聚焦于投射透镜的主平面时会聚透镜的施加电压是100时，将施加电压设定为小于100且为80以上，设定光圈的位置，以使所述光圈在如下状态下遮挡该会聚离子束，该状态是，所述光圈的所述一边距所述会聚离子束的中心的距离大于0μm且为500μm以下的状态，构成将狭缝的形状转印到试样的转印模式。

公开(公告)号：CN113496860A

公开(公告)日：2021-10-12

申请号：CN202110279321.X

申请日：2021-03-16

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 永原幸儿 ,  间所祐一

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/305 ,  H01J37/05 ,  H01J37/12

Abstract: 本发明提供粒子射束装置和复合射束装置，该粒子射束装置能够选择性地且适当地切换带电粒子射束和中性粒子射束。粒子射束镜筒(19)具备离子源(41)、聚光镜(52)、电荷交换栅极(55)和物镜(56)。离子源(41)产生离子。聚光镜(52)通过切换离子射束的聚焦而切换离子射束和中性的射束作为照射至试样(S)的粒子射束。电荷交换栅极(55)通过将离子射束的至少一部分中性化而转换成中性粒子射束。物镜(56)配置于电荷交换栅极(55)的下游侧。在对试样(S)照射中性粒子射束作为粒子射束的情况下，物镜(56)减少朝向试样(S)的离子射束。

公开(公告)号：CN112687508A

公开(公告)日：2021-04-20

申请号：CN202010749029.5

申请日：2020-07-30

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 杉山安彦 ,  永原幸儿

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明提供带电粒子束装置及其控制方法、以及复合带电粒子束装置，在切换了物镜的加速模式与减速模式或变更了构成物镜的增强器电极的施加电压的情况下，能够得到与切换或变更前同等的无畸变的尺寸准确的试样表面的扫描像。带电粒子束装置具备：带电粒子源，其产生带电粒子；多个扫描电极，它们对带电粒子产生用于使带电粒子偏转的电场，该带电粒子是通过向带电粒子源施加加速电压且向引出带电粒子的引出电极施加引出电压而放出的带电粒子；静电透镜，其配置在多个扫描电极与试样台之间，将通过扫描电极偏转后的带电粒子束会聚；以及处理部，其取得测定条件，基于取得的测定条件，分别设定向多个扫描电极施加的扫描电压。