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公开(公告)号：CN105979692B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201610135085.3
申请日：2016-03-10
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明涉及电感耦合等离子体发生装置和电感耦合等离子体分析装置。提供能够不使用冷却水而以高的冷却能力冷却高频感应线圈的电感耦合等离子体发生装置和使用其的电感耦合等离子体分析。电感耦合等离子体发生装置（10）由等离子体焰炬（13）、高频感应线圈（14）和高频电源（16）概略构成。此外，在电感耦合等离子体发生装置（10）设置有第一端（18a）连接于高频感应线圈（14）而第二端（18b）连接于冷却块（17）的传热构件（18）。使传热构件（18）的第二端（18b）为与第一端（18a）相比上方的位置，由此，凝结后的工作液由于重力的作用而向第一端（18a）落下移动，因此，工作液的循环、移动性提高，能够发挥高的冷却能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105979692A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610135085.3
申请日：2016-03-10
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明涉及电感耦合等离子体发生装置和电感耦合等离子体分析装置。提供能够不使用冷却水而以高的冷却能力冷却高频感应线圈的电感耦合等离子体发生装置和使用其的电感耦合等离子体分析。电感耦合等离子体发生装置（10）由等离子体焰炬（13）、高频感应线圈（14）和高频电源（16）概略构成。此外，在电感耦合等离子体发生装置（10）设置有第一端（18a）连接于高频感应线圈（14）而第二端（18b）连接于冷却块（17）的传热构件（18）。使传热构件（18）的第二端（18b）为与第一端（18a）相比上方的位置，由此，凝结后的工作液由于重力的作用而向第一端（18a）落下移动，因此，工作液的循环、移动性提高，能够发挥高的冷却能力。
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公开(公告)号：CN104949963A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510135146.1
申请日：2015-03-26
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Inventor： 中川良知
IPC: G01N21/73
CPC classification number: G01N21/73 , G01J3/443 , G01N21/68 , H01J49/105 , H05H1/30
Abstract: 公开了一种ICP发光分光分析装置。提供一种预先对光电倍增管施加电压以能够迅速地转移至主分析的ICP发光分光分析装置。ICP发光分光分析装置(1)由感应耦合等离子体发生部(10)、聚光部(20)、分光器(30)、检测器(40)以及控制部(60)大致构成。另外，在检测器(40)具备光电倍增管(70)，具有检测器控制部(41)和输入部(42)。由于在光电倍增管(70)存在分压电阻r1~rn，因此由于被施加于光电倍增管(70)的施加电压Ve的变化而放大率不会立即变为固定，但是检测器控制部(41)在从预先向输入部(42)输入分析条件之后起直到向感应耦合等离子体装置(10)导入包括分析对象的元素的样本之前为止的期间中控制空转电压和空转电压施加时间来使倍增率固定。
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公开(公告)号：CN113436952A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202110302101.4
申请日：2021-03-22
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/09 , H01J37/12 , H01J37/305
Abstract: 提供在利用会聚离子束进行截面加工时改善截面形状、并且提高作业效率的会聚离子束加工装置。会聚离子束加工装置(100)具有离子源(21)、保持试样(200)的试样载台(50)、会聚透镜(22)、具有一边(24t)呈直线状的狭缝(24s)的光圈(24)、以及配置于光圈与试样台之间的射束路径的投射透镜(28)，在试样加工出截面，当基于柯拉照明法会聚离子束(20A)聚焦于投射透镜的主平面时会聚透镜的施加电压是100时，将施加电压设定为小于100且为80以上，设定光圈的位置，以使所述光圈在如下状态下遮挡该会聚离子束，该状态是，所述光圈的所述一边距所述会聚离子束的中心的距离大于0μm且为500μm以下的状态，构成将狭缝的形状转印到试样的转印模式。
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公开(公告)号：CN104949963B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201510135146.1
申请日：2015-03-26
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Inventor： 中川良知
IPC: G01N21/73
CPC classification number: G01N21/73 , G01J3/443 , G01N21/68 , H01J49/105 , H05H1/30
Abstract: 公开了一种ICP发光分光分析装置。提供一种预先对光电倍增管施加电压以能够迅速地转移至主分析的ICP发光分光分析装置。ICP发光分光分析装置(1)由感应耦合等离子体发生部(10)、聚光部(20)、分光器(30)、检测器(40)以及控制部(60)大致构成。另外，在检测器(40)具备光电倍增管(70)，具有检测器控制部(41)和输入部(42)。由于在光电倍增管(70)存在分压电阻r1~rn，因此由于被施加于光电倍增管(70)的施加电压Ve的变化而放大率不会立即变为固定，但是检测器控制部(41)在从预先向输入部(42)输入分析条件之后起直到向感应耦合等离子体装置(10)导入包括分析对象的元素的样本之前为止的期间中控制空转电压和空转电压施加时间来使倍增率固定。
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