公开(公告)号：CN1714297A

公开(公告)日：2005-12-28

申请号：CN200380103586.4

申请日：2003-11-19

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 石川重树 ,  渡边诚

IPC: G01R31/28

CPC classification number: G01R1/07371 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07314

Abstract: 一种电探针系统，具有固定被检测基板(10)的固定机构(2)和对于上述固定机构(2)可以定位的探针单元(3)，上述的探针单元(3)具有：在第一行程定义域(V1)以内，以规定范围(2ΔZ)的接触压可以与上述基板(10)的第一焊点组(11k)弹性接触的第一探针组(5a)；在与上述第一行程定义域(V1)不同的第二行程定义域(V2)以内，以上述规定范围(2ΔZ)的接触压可以与上述基板(10)的第二焊点组(11k)弹性接触的第二探针组(5b)；和植设上述第一和第二探针组(5a，5b)的探针固定架(3d)。

公开(公告)号：CN1537233A

公开(公告)日：2004-10-13

申请号：CN02813247.5

申请日：2002-07-08

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 风间俊男 ,  石川重树 ,  渡边诚

IPC: G01R1/067 ,  G01R1/073 ,  H01R13/24

CPC classification number: H01R13/2421 ,  G01R1/06722 ,  H01R11/18

Abstract: 相对细图案化的接触部，确保进行电气检查的针状体的位置精度。具备前端部(3a)接触布图形成的接触部的多个导电性针状体(3)；与各针状体(3)同轴连结、向与所述接触部的接触方向对针状体(3)施力的多个导电性盘簧(4)；和绝缘性支架(2)，在形成分别容纳至少盘簧(4)的容纳孔(12)的同时，与各容纳孔(12)连通地形成在防拔出状态下露出针状体(3)的前端部的引导孔(13)。通过相对容纳孔(12)的中心将全部或部分引导孔(13)的中心沿同一平面内的特定的一个方向偏离，确保针状体(3)的位置精度。

公开(公告)号：CN1714297B

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN200380103586.4

申请日：2003-11-19

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 石川重树 ,  渡边诚

IPC: G01R1/073 ,  G01R1/06 ,  G01R31/02 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01R1/07371 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07314

Abstract: 一种电探针系统，具有固定被检测基板(10)的固定机构(2)和对于上述固定机构(2)可以定位的探针单元(3)，上述的探针单元(3)具有：在第一行程定义域(V1)以内，以规定范围(2ΔZ)的接触压可以与上述基板(10)的第一焊点组(11k)弹性接触的第一探针组(5a)；在与上述第一行程定义域(V1)不同的第二行程定义域(V2)以内，以上述规定范围(2ΔZ)的接触压可以与上述基板(10)的第二焊点组(11k)弹性接触的第二探针组(5b)；和植设上述第一和第二探针组(5a，5b)的探针固定架(3d)。

公开(公告)号：CN1285914C

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN02813247.5

申请日：2002-07-08

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 风间俊男 ,  石川重树 ,  渡边诚

IPC: G01R1/067 ,  G01R1/073 ,  H01R13/24

CPC classification number: H01R13/2421 ,  G01R1/06722 ,  H01R11/18

Abstract: 相对细图案化的接触部，确保进行电气检查的针状体的位置精度。具备前端部(3a)接触布图形成的接触部的多个导电性针状体(3)；与各针状体(3)同轴连结、向与所述接触部的接触方向对针状体(3施力的多个导电性盘簧(4)；和绝缘性支架(2)，在形成分别容纳至少盘簧(4)的容纳孔(12)的同时，与各容纳孔(12)连通地形成在防拔出状态下露出针状体(3)的前端部的引导孔(13)。通过相对容纳孔(12)的中心将全部或部分引导孔(13)的中心沿同一平面内的特定的一个方向偏离，确保针状体(3)的位置精度。