探针单元
    1.
    发明公开
    探针单元 审中-实审

    公开(公告)号:CN115335708A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202180022852.9

    申请日:2021-03-17

    Abstract: 本发明的探针单元具有:多个第一接触探针,其分别在长度方向上的一个端部侧与接触对象的电极接触;第二接触探针,其与外部的接地连接;探针座,其保持第一接触探针和第二接触探针,其中,探针座中形成有:第一中空部,其插入并保持第一接触探针;第二中空部,其插入并保持第二接触探针;通孔,其设置在第一中空部的周围,且探针座具有导电部,该导电部构成通孔,且将该通孔与第二接触探针电连接。

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