公开(公告)号：CN1980841A

公开(公告)日：2007-06-13

申请号：CN200580022343.7

申请日：2005-09-09

Applicant: 日本华而卡工业株式会社 ,  伯东株式会社 ,  维恩斯株式会社

Inventor： 梅田俊哉 ,  长田厚 ,  川岛英显 ,  吉田勉

IPC: B65D85/86 ,  H01L21/027 ,  F16J15/10 ,  G03F1/14 ,  H01L21/673

Abstract: 提供一种可防止玻璃基板的质量恶化的玻璃基板容纳箱、可自动将玻璃基板从玻璃基板容纳箱调换到其他箱体中的玻璃基板调换装置、分别管理玻璃基板的玻璃基板管理装置、将玻璃基板容纳在专用的玻璃基板容纳箱中进行交换的玻璃基板流通方法、提高密封效果的密封部件、及使用了该密封部件的密封构造。所述玻璃基板容纳箱具有：放置中间掩模R的底部件12；盖部件20，以覆盖放置在底部件12上的中间掩模R的方式与底部件12配合，在其与底部件12之间形成空间部；密封部件18，设置在底部件12或/及盖部件20上，在盖部件20与底部件12配合的状态下使空间部气密；和挂钩部件24，设置在盖部件20上，与底部件12勾挂，维持盖部件20与底部件12配合的状态。