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公开(公告)号：CN111886672A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201880091398.0
申请日：2018-03-19
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明降低顶板与加热器的热膨胀的偏差以防止加热器的破损，包括：顶板2，载置基板W；加热器3，被设在顶板2的下表面；板温度检测部4，检测顶板2的温度；加热器温度检测部5，检测加热器3的温度；以及加热器控制部6，基于加热器3的检测温度与顶板2的检测温度来控制加热器3的输出，加热器控制部6控制加热器3的输出，以使加热器3的检测温度与顶板2的检测温度的检测温差不超过规定的温差上限值，且进行控制，以使顶板2的检测温度成为规定的设定温度。
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