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公开(公告)号：CN111886936B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN201980020153.3
申请日：2019-03-15
Applicant: 日新电机株式会社
Inventor： 岩苔翼
IPC: H05H1/46 , C23C16/505
Abstract: 本发明提供一种等离子体控制系统以及计算机可读存储介质，等离子体控制系统包括：高频电源；第一天线，一端部与高频电源连接；第二天线，一端部与第一天线的另一端部连接；第一电抗可变元件，设置于第一天线与第二天线之间；第一电抗可变元件的第一驱动部；第二电抗可变元件，与第二天线的另一端部连接；第二电抗可变元件的第二驱动部；第一电流检测部，检测第二电抗可变元件的第二驱动部、以及第一天线的一端部的电流；第二电流检测部，检测第一天线与第二天线之间流动的电流；第三电流检测部，检测第二天线的另一端部的电流；以及控制装置，控制第一驱动部及第二驱动部。
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公开(公告)号：CN114080864B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202080050164.9
申请日：2020-07-10
Applicant: 日新电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种等离子体控制系统，可使用长条状的天线来应对基板的大型化，并沿着天线的长边方向产生均匀的等离子体。本发明包括：高频电源4；天线组3x，具有连接于高频电源4的多个天线3；多个电抗可变元件VC，连接于多个天线3的供电侧以及接地侧；电流检测机构Sx，检测在多个天线3的供电侧及接地侧流动的电流；均匀性算出部X1，基于由电流检测机构Sx检测出的电流值，算出在多个天线3中流过的电流的均匀性指标值；以及电抗变更部X2，依次变更多个电抗可变元件VC的电抗，以使由均匀性算出部X1算出的均匀性指标值接近规定的设定值。
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公开(公告)号：CN114080864A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202080050164.9
申请日：2020-07-10
Applicant: 日新电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种等离子体控制系统，可使用长条状的天线来应对基板的大型化，并沿着天线的长边方向产生均匀的等离子体。本发明包括：高频电源4；天线组3x，具有连接于高频电源4的多个天线3；多个电抗可变元件VC，连接于多个天线3的供电侧以及接地侧；电流检测机构Sx，检测在多个天线3的供电侧及接地侧流动的电流；均匀性算出部X1，基于由电流检测机构Sx检测出的电流值，算出在多个天线3中流过的电流的均匀性指标值；以及电抗变更部X2，依次变更多个电抗可变元件VC的电抗，以使由均匀性算出部X1算出的均匀性指标值接近规定的设定值。
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公开(公告)号：CN111886936A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201980020153.3
申请日：2019-03-15
Applicant: 日新电机株式会社
Inventor： 岩苔翼
IPC: H05H1/46 , C23C16/505
Abstract: 本发明可使用长尺寸状的天线来应对基板的大型化，并沿着天线的长边方向产生均匀的等离子体。本发明包括：高频电源；第一天线，一端部与高频电源连接；第二天线，一端部与第一天线的另一端部连接；第一电抗可变元件，设置于第一天线与第二天线之间；第一电抗可变元件的第一驱动部；第二电抗可变元件，与第二天线的另一端部连接；第二电抗可变元件的第二驱动部；第一电流检测部，检测第二电抗可变元件的第二驱动部、以及第一天线的一端部的电流；第二电流检测部，检测第一天线与第二天线之间流动的电流；第三电流检测部，检测第二天线的另一端部的电流；以及控制装置，以第一电流检测部的第一电流值、第二电流检测部的第二电流值、及第三电流检测部的第三电流值相互变成相等的方式，控制第一驱动部及第二驱动部。
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公开(公告)号：CN111886672A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201880091398.0
申请日：2018-03-19
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明降低顶板与加热器的热膨胀的偏差以防止加热器的破损，包括：顶板2，载置基板W；加热器3，被设在顶板2的下表面；板温度检测部4，检测顶板2的温度；加热器温度检测部5，检测加热器3的温度；以及加热器控制部6，基于加热器3的检测温度与顶板2的检测温度来控制加热器3的输出，加热器控制部6控制加热器3的输出，以使加热器3的检测温度与顶板2的检测温度的检测温差不超过规定的温差上限值，且进行控制，以使顶板2的检测温度成为规定的设定温度。
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