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公开(公告)号:CN104918743B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201380070573.5
申请日:2013-12-25
IPC: B23K20/10 , B29C65/08 , H01L21/607
CPC classification number: G01N29/04 , B23K20/10 , B23K31/125 , G01N2291/267 , H01L2924/0002 , H01L2924/0001
Abstract: 一种被进行超声波接合的板状构件的接合状态检查方法,具有:测定阶段,对在将振动的变幅杆推压至被重叠地载置于砧上的多个板状构件来对板状构件进行超声波接合时传递到砧的能量进行测定;以及判定阶段,根据在测定阶段测定出的能量,判定板状构件的接合状态是否良好。
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公开(公告)号:CN104918743A
公开(公告)日:2015-09-16
申请号:CN201380070573.5
申请日:2013-12-25
IPC: B23K20/10 , B29C65/08 , H01L21/607
CPC classification number: G01N29/04 , B23K20/10 , B23K31/125 , G01N2291/267 , H01L2924/0002 , H01L2924/0001 , B29C65/08 , H01L24/00
Abstract: 一种被进行超声波接合的板状构件的接合状态检查方法,具有:测定阶段,对在将振动的变幅杆推压至被重叠地载置于砧上的多个板状构件来对板状构件进行超声波接合时传递到砧的能量进行测定;以及判定阶段,根据在测定阶段测定出的能量,判定板状构件的接合状态是否良好。
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