成膜装置
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203678610U

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201320832887.1

    申请日:2013-12-17

    Abstract: 本实用新型提供一种成膜装置。该成膜装置能够将所涂覆的膜准确地形成于基材。该成膜装置包括载物台、支架、涂覆构件、位移计以及膜厚控制机构,载物台用于放置基材;涂覆构件包括泵和与泵相连的喷嘴;涂覆构件以喷嘴对着载物台的方式支承在支架上,并能够在支架上调整位置;位移计用于检测喷嘴与从喷嘴涂覆于基材的膜的被涂覆面之间的距离,和/或测定膜的厚度;膜厚控制机构用于控制所涂覆的膜的厚度。

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