光学层叠体的检查方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115989407A

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202180053420.4

    申请日:2021-03-08

    Abstract: 提供一种能够抑制对存在于剥离膜的表面的缺陷的过度检测并高精度地检测存在于偏光片与光学膜之间的缺陷的光学层叠体的检查方法。本发明包括以下工序:透射检查工序(S1),基于利用透过光学层叠体(S)的光生成的透射图像来检测缺陷候选;正交尼科尔棱镜检查工序(S2),基于利用透过检查用偏振滤光片(6a、6b)和光学层叠体的光生成的正交尼科尔棱镜图像来检测缺陷候选,该检查用偏振滤光片(6a、6b)以相对于偏光片(10)的偏光轴成为正交尼科尔棱镜的方式配置;反射检查工序(S3),基于利用由光学层叠体反射的光生成的反射图像来检测缺陷候选;以及运算工序(S4),将在透射检查工序和正交尼科尔棱镜检查工序这两方中检测出而在反射检查工序中未检测出的缺陷候选判定为是存在于偏光片与光学膜(20)之间的缺陷。

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