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公开(公告)号：CN103155705B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201180048747.9
申请日：2011-11-04
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L51/0008 , H01L51/001
Abstract: 本发明提供一种有机EL元件的制造方法。有机EL元件的制造方法包括蒸镀工序，在蒸镀工序中，供给基材，使该基材的非电极层侧与驱动而旋转的筒状辊表面相抵接而使该基材移动并自蒸镀源的喷嘴喷出气化的有机层形成材料，在上述基材的电极层侧形成有机层，在有机EL元件的制造方法中，使用能够对距被上述筒状辊支承的上述基材的第1距离进行测量的距离测量部、能够调整上述蒸镀源的喷嘴与上述基材的表面之间的第2距离的位置调整部，根据上述距离测量部的上述第1距离的测量结果一边利用上述位置调整部以使上述第2距离恒定的方式进行控制一边进行上述蒸镀工序。
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公开(公告)号：CN103155705A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201180048747.9
申请日：2011-11-04
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L51/0008 , H01L51/001
Abstract: 本发明提供一种有机EL元件的制造方法。有机EL元件的制造方法包括蒸镀工序，在蒸镀工序中，供给基材，使该基材的非电极层侧与驱动而旋转的筒状辊表面相抵接而使该基材移动并自蒸镀源的喷嘴喷出气化的有机层形成材料，在上述基材的电极层侧形成有机层，在有机EL元件的制造方法中，使用能够对距被上述筒状辊支承的上述基材的第1距离进行测量的距离测量部、能够调整上述蒸镀源的喷嘴与上述基材的表面之间的第2距离的位置调整部，根据上述距离测量部的上述第1距离的测量结果一边利用上述位置调整部以使上述第2距离恒定的方式进行控制一边进行上述蒸镀工序。
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公开(公告)号：CN102779952A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210147473.5
申请日：2012-05-11
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/562 , H01L51/001 , H01L51/0097 , H01L2251/5338 , Y02E10/549 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种有机EL元件的制造方法及其制造装置、有机EL元件，该有机EL元件的制造方法的特征在于，具备以下步骤：提供带状的基材并且通过在该基材的一面侧至少依次蒸镀包括发光层的有机层和电极层来在上述基材上形成有机EL膜；以及将通过上述蒸镀形成有上述有机EL膜的上述基材依次进行卷绕，在上述卷绕过程中，还提供比上述基材软的带状的保护膜，使上述保护膜粘接在上述基材的非蒸镀面侧并且将上述基材与上述保护膜一起进行卷绕。
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