公开(公告)号：CN102374381B

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201010260457.8

申请日：2010-08-23

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司 ,  无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 陶鹤岭 ,  顾红桃

IPC: F17B1/00 ,  F17B1/14

Abstract: 一种防止吹扫气体倒灌的气柜装置，包括柜体和设置在所述柜体内的气体管路，所述气体管路包括工艺管路和与工艺管路可控连通的用于清洁工艺管路的吹扫管路，所述工艺管路通过特气瓶阀与特气瓶连接，所述吹扫管路和工艺管路之间由可抽真空的安全管路隔开。本发明通过在吹扫管路上设置安全气动阀，对安全管路抽至真空状态，消除了吹扫气体倒灌至工艺管路或者是特气瓶的安全隐患，防止整支特气瓶的报废。

公开(公告)号：CN102374381A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201010260457.8

申请日：2010-08-23

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司 ,  无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 陶鹤岭 ,  顾红桃

IPC: F17B1/00 ,  F17B1/14

Abstract: 一种防止吹扫气体倒灌的气柜装置，包括柜体和设置在所述柜体内的气体管路，所述气体管路包括工艺管路和与工艺管路可控连通的用于清洁工艺管路的吹扫管路，所述工艺管路通过特气瓶阀与特气瓶连接，所述吹扫管路和工艺管路之间由可抽真空的安全管路隔开。本发明通过在吹扫管路上设置安全气动阀，对安全管路抽至真空状态，消除了吹扫气体倒灌至工艺管路或者是特气瓶的安全隐患，防止整支特气瓶的报废。