公开(公告)号：CN102294671B

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201010165695.0

申请日：2010-05-06

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司 ,  无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 罗明新 ,  周天贤

IPC: B25B27/00 ,  C23C14/34

Abstract: 一种支撑装置及组装薄膜物理钛腔的线圈和护罩的方法，所述线圈的第一位置、第三位置和第五位置分别设置有线圈组装部，所述第一位置为电源的进线位置，所述第五位置为电源的出线位置，所述第三位置位于所述第一位置和第五位置之间；所述护罩上设置有护罩组装部，分别对应于所述线圈组装部，该方法包括如下步骤：将所述支撑装置放置于所述护罩内；将所述线圈定位于所述支撑装置的凹槽，并使所述线圈的线圈组装部与护罩的护罩组装部位于同一高度；在所述第一位置、第三位置和第五位置分别连接所述线圈组装部与护罩组装部。本发明在组装过程中，护罩上产生的颗粒少。

公开(公告)号：CN102294671A

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN201010165695.0

申请日：2010-05-06

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司 ,  无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 罗明新 ,  周天贤

IPC: B25B27/00 ,  C23C14/34

Abstract: 一种支撑装置及组装薄膜物理钛腔的线圈和护罩的方法，所述线圈的第一位置、第三位置和第五位置分别设置有线圈组装部，所述第一位置为电源的进线位置，所述第五位置为电源的出线位置，所述第三位置位于所述第一位置和第五位置之间；所述护罩上设置有护罩组装部，分别对应于所述线圈组装部，该方法包括如下步骤：将所述支撑装置放置于所述护罩内；将所述线圈定位于所述支撑装置的凹槽，并使所述线圈的线圈组装部与护罩的护罩组装部位于同一高度；在所述第一位置、第三位置和第五位置分别连接所述线圈组装部与护罩组装部。本发明在组装过程中，护罩上产生的颗粒少。