公开(公告)号：CN110504761A

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：CN201811103342.0

申请日：2018-09-20

Applicant: 新动力等离子体株式会社 ,  成均馆大学商业研究基金会

Inventor： 柳承喜 ,  林昌燮 ,  文洪权 ,  成原镛 ,  丘根完 ,  李秉国

IPC: H02J50/12 ,  H02J50/70

Abstract: 本发明实施例涉及用于等离子体电源的共振网络及用于等离子体发生器的电力供应装置，所述等离子体电源的共振网络连接在电源部和输出部之间，该共振网络可包括与所述电源部串联连接的共振电感(Lr)；与所述输出部并联连接且与所述共振电感(Lr)串联连接的共振电容(Cr)；以及与所述输出部和所述共振电感(Lr)串联连接且与所述共振电容(Cr)并联连接的无源元件。

公开(公告)号：CN110504761B

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN201811103342.0

申请日：2018-09-20

Applicant: 新动力等离子体株式会社 ,  成均馆大学商业研究基金会

Inventor： 柳承喜 ,  林昌燮 ,  文洪权 ,  成原镛 ,  丘根完 ,  李秉国

IPC: H02J50/12 ,  H02J50/70

Abstract: 本发明实施例涉及用于等离子体电源的共振网络及用于等离子体发生器的电力供应装置，所述等离子体电源的共振网络连接在电源部和输出部之间，该共振网络可包括与所述电源部串联连接的共振电感(Lr)；与所述输出部并联连接且与所述共振电感(Lr)串联连接的共振电容(Cr)；以及与所述输出部和所述共振电感(Lr)串联连接且与所述共振电容(Cr)并联连接的无源元件。