公开(公告)号：CN117293078A

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN202310740173.6

申请日：2023-06-21

申请人： 新光电气工业株式会社

发明人： 内山彩

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H05B3/02 ,  H05B3/22

摘要： 本发明涉及基板固定装置，该基板固定装置包括：底板；发热部件，其经由粘合层设置在底板上；以及静电吸盘，其设置在发热部件上并且构造成吸附和保持待吸附的目标对象。发热部件包括：第一绝缘层，其具有第一表面以及与该第一表面相反的第二表面，第一表面与静电吸盘接触；发热元件，其布置在第一绝缘层的第二表面上；以及第二绝缘层，其堆叠在第一绝缘层的第二表面上并且覆盖发热元件。设置有穿透底板、粘合层和第二绝缘层并且露出发热元件的一部分的通孔。第二绝缘层的玻璃化转变温度高于第一绝缘层的玻璃化转变温度。

公开(公告)号：CN115346907A

公开(公告)日：2022-11-15

申请号：CN202210503005.0

申请日：2022-05-10

申请人： 新光电气工业株式会社

发明人： 内山彩

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/67

摘要： 本公开涉及一种基板固定装置、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法，基板固定装置包括：底板；以及静电吸盘，其固定至底板并且构造成通过静电力来吸附基板。静电吸盘包括：陶瓷层，其由陶瓷形成并且构造成在陶瓷层与基板接触的状态下吸附基板；第一加热图案，其布置在陶瓷层上并且构造成产生热量；隔绝树脂层，其布置在第一加热图案上以覆盖第一加热图案；第二加热图案，其布置在隔绝树脂层上并且构造成产生热量；以及导电构件，其穿透隔绝树脂层，使得导电构件的一端与第一加热图案的表面接触，并且导电构件的另一端与第二加热图案的表面接触。