静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台

    公开(公告)号:CN102135137B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201010293517.6

    申请日:2010-09-21

    CPC classification number: F16C32/0614 F16C29/025

    Abstract: 提供高精度的静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台,通过构成节流孔、通气槽等,使得加压气体在通气路径的全体区域维持层流状态,从而防止振动的发生。在静压轴承装置中,为了使加压气体在通气路径的全体区域能够维持层流状态而设计了节流孔(14)、通气槽以及排气槽(12)的形状等结构,通气槽宽度方向的截面形状形成为朝向离开滑动面(10a)的方向突出的曲线,另外,通气槽包括:环状槽(11b),其围绕节流孔(14)形成为环状;多个分配槽(11a),它们以节流孔(14)为中心朝向环状槽(11b)以放射状延伸设置并将环状槽(11b)与节流孔(14)连通,且形成为相对于移动体(10)的移动方向中心线对称。

    滚珠丝杠轴的累积导程误差测定装置以及测定方法

    公开(公告)号:CN102809350A

    公开(公告)日:2012-12-05

    申请号:CN201210175226.6

    申请日:2012-05-30

    Abstract: 本发明涉及滚珠丝杠轴的累积导程误差测定装置以及测定方法。滚珠丝杠轴的累积导程误差测定装置(S1)具备:将被测定滚珠丝杠轴(W)固定成无法旋转的固定支承台(1);与被测定滚珠丝杠轴的螺纹槽抵接的滚珠触头(5);使滚珠触头沿着与被测定滚珠丝杠轴的轴心(Lz)正交的方向往复移动,并且以规定的压入力使滚珠触头与螺纹槽抵接的滚珠触头滑动机构(4);使滚珠触头滑动机构与轴心平行地水平往复移动的位置检测滑动机构(3);使位置检测滑动机构在被测定滚珠丝杠轴的螺纹部之间往复移动的定位往复滑动机构;以及检测滚珠触头在轴心方向的位置的导程位置测定机构(6)。

    静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台

    公开(公告)号:CN102135137A

    公开(公告)日:2011-07-27

    申请号:CN201010293517.6

    申请日:2010-09-21

    CPC classification number: F16C32/0614 F16C29/025

    Abstract: 提供高精度的静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台,通过构成节流孔、通气槽等,使得加压气体在通气路径的全体区域维持层流状态,从而防止振动的发生。在静压轴承装置中,为了使加压气体在通气路径的全体区域能够维持层流状态而设计了节流孔(14)、通气槽以及排气槽(12)的形状等结构,通气槽宽度方向的截面形状形成为朝向离开滑动面(10a)的方向突出的曲线,另外,通气槽包括:环状槽(11b),其围绕节流孔(14)形成为环状;多个分配槽(11a),它们以节流孔(14)为中心朝向环状槽(11b)以放射状延伸设置并将环状槽(11b)与节流孔(14)连通,且形成为相对于移动体(10)的移动方向中心线对称。

    滚珠丝杠轴的累积导程误差测定装置以及测定方法

    公开(公告)号:CN102809350B

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201210175226.6

    申请日:2012-05-30

    Abstract: 本发明涉及滚珠丝杠轴的累积导程误差测定装置以及测定方法。滚珠丝杠轴的累积导程误差测定装置(S1)具备:将被测定滚珠丝杠轴(W)固定成无法旋转的固定支承台(1);与被测定滚珠丝杠轴的螺纹槽抵接的滚珠触头(5);使滚珠触头沿着与被测定滚珠丝杠轴的轴心(Lz)正交的方向往复移动,并且以规定的压入力使滚珠触头与螺纹槽抵接的滚珠触头滑动机构(4);使滚珠触头滑动机构与轴心平行地水平往复移动的位置检测滑动机构(3);使位置检测滑动机构在被测定滚珠丝杠轴的螺纹部之间往复移动的定位往复滑动机构;以及检测滚珠触头在轴心方向的位置的导程位置测定机构(6)。

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