-
公开(公告)号：CN111272162A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN202010135342.X
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: G01C19/5663 , G01C19/5656 , B81B3/00 , B81C1/00 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种单质量块三轴MEMS陀螺，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层和顶板；空腔结构层的底面与底板顶面的底板键合环金硅键合，质量块与悬臂梁结构层中悬臂梁固支边框的底面与空腔结构层顶面的空腔基板键合环金硅键合，各个S形悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，顶板底面的接地引出电极与悬臂梁固支边框顶面的接地电极金金键合，最终形成一个气密封闭结构，采用单一质量块和组合S形悬臂梁结构，交叉耦合小、灵敏度高，总体结构简单、制备工艺简便。
-
公开(公告)号：CN110360995A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910692028.9
申请日：2019-07-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明涉及一种谐振器型声表面波双轴陀螺，包括基板，固定于基板顶面的4个偏轴双端对声表面波谐振器芯片，制作于基板顶面的1个输入导引电极、8个输出导引电极和若干个接地导引电极，制作于基板底面的1个输入电极、4个输出电极和接地面，贯穿基板的若干个金属过孔以及键合引线；所述4个偏轴双端对声表面波谐振器芯片分别为第一偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第二偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第三偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第四偏轴双端对声表面波谐振器芯片。通过本发明，简化了双轴陀螺的设计、结构和制备工艺。采用复合结构声表面波谐振器作为敏感元件的双轴陀螺，用于感测正交双轴角运动，结构简单，制作方便。
-
公开(公告)号：CN107817456B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201710899441.3
申请日：2017-09-28
Applicant: 扬州大学
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明公开一种基于声表面波谐振器的单片集成磁感应传感器，包括压电基片(1)、蚀刻在压电基片(1)上的声表面波谐振器、蚀刻在压电基片(1)上的平面磁感应线圈(8)，所述平面磁感应线圈(8)环绕在声表面波谐振器外围，平面磁感应线圈(8)的内端依次通过直流偏置电极(44)、直流偏置跨连过桥(94)与声表面波谐振器相连，其外端与蚀刻在压电基片(1)上边缘处的直流偏置接地电极(104)相连。本发明的基于声表面波谐振器的单片集成磁感应传感器,集成度高、容易生产加工。
-
公开(公告)号：CN107819448A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710897205.8
申请日：2017-09-28
Applicant: 扬州大学
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/02535 , H03H9/02614
Abstract: 本发明公开一种频率可调声表面波谐振器，包括压电基片(1)、依次叠合在压电基片(1)之上的金属结构层、中间介质层和电压调控电极层；所述金属结构层包括叉指换能器(2)、分置于叉指换能器(2)两侧的第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)；所述金属结构层的叉指换能器(2)通过高频输入电极(41)和高频输出电极(42)与外界电路相连，通过直流接地电极(45)接地，通过直流偏置电极(44)与调节谐振频率的直流偏置电源相连，所述第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)均通过各自的高频接地电极(43)和直流接地电极(45)接地。本发明的频率可调声表面波谐振器,频率调节灵活、方便。
-
公开(公告)号：CN110287746B
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN201910541149.3
申请日：2019-06-21
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明公开了射频信号识别与物联网技术领域内的一种射频识别标签后端编码组件，包括射频信号输入端口、多个不同中心频率的声表面波滤波器、多个高频开关电路、多个射频整流器、数字编码器、数字译码器、多个控制电平保持电路，具有对射频识别标签的技术要求低、成本低，抗干扰能力强、安全性能好等优点，可用于射频识别中。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111333021B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202010135105.3
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: B81B7/02 , B81B3/00 , B81C1/00 , G01C19/5656 , G01C21/18 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种单质量块平面三轴MEMS惯性传感器，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；空腔结构层底面的空腔基板底面键合环与底板顶面的底板键合环金金键合；悬臂梁固支边框的底面与空腔结构层顶面的空腔基板顶面键合环金硅键合，各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中；顶板底面的接地引出电极与悬臂梁固支边框顶面的接地电极金金键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明总体结构简单、制备过程简便，感测灵敏度和感测精度高。
-
公开(公告)号：CN107907103B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201711346349.0
申请日：2017-12-15
Applicant: 扬州大学
Abstract: 一种声表面波双轴倾角感测结构，属于微机电传感技术领域。在硅单晶基片背面制作多个声表面波谐振器组，在硅单晶基片正面制作正对各个声表面波谐振器的输入/输出电极对，各个输入/输出电极对阵列上方制作双端固支悬挂电极，依据基片的倾斜角度，分别与对应的输入/输出电极对阵列中的其中一个输出电极接触，或者与对应的输入/输出电极对之间的间隙接触，连通或者不连通对应的声表面波谐振器与输出信号电极，输出或者无输出相应谐振频率的谐振信号，可得到所述声表面波双轴倾角感测结构基片所处的平面状态与水平状态的双轴倾角。
-
公开(公告)号：CN110287746A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910541149.3
申请日：2019-06-21
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明公开了射频信号识别与物联网技术领域内的一种射频识别标签后端编码组件，包括射频信号输入端口、多个不同中心频率的声表面波滤波器、多个高频开关电路、多个射频整流器、数字编码器、数字译码器、多个控制电平保持电路，具有对射频识别标签的技术要求低、成本低，抗干扰能力强、安全性能好等优点，可用于射频识别中。
-
公开(公告)号：CN111289772B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202010135345.3
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , B81C1/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明公开了一种低深宽比的单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；底板与空腔结构层通过底板键合环键合，空腔结构层与悬臂梁固支边框通过空腔基板键合环键合，各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，悬臂梁固支边框与顶板通过顶板键合环键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用低深宽比的质量块和空腔结构层，总体结构简单、制备工艺简化、制作方便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。
-
公开(公告)号：CN110426122B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN201910692008.1
申请日：2019-07-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明涉及一种表面声波波束散射检测芯片，包括压电基片，制作于压电基片表面的第一输入叉指换能器、第二输入叉指换能器、第三输入叉指换能器、第四输入叉指换能器、第一输出叉指换能器、第二输出叉指换能器、第一短路反射器、第二短路反射器、第三短路反射器、第四短路反射器、内吸声胶胶膜、第一外吸声胶胶膜、第二外吸声胶胶膜以及第一输入电极、第二输入电极、第一输出电极、第二输出电极和若干个接地电极；本发明通过在输入叉指换能器的一侧设置与之偏轴的短路反射器和输出叉指换能器，构成一个复合谐振器结构，用于检测输入叉指换能器所发射的表面声波波束中因波束偏向、衍射而形成的散射波束。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
43
records
(took 0.023 seconds)
