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公开(公告)号：CN110373703A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910828723.3
申请日：2019-09-03
申请人： 扬州国润半导体科技有限公司
发明人： 徐宏进
摘要： 本发明公开了一种半导体晶圆电镀夹持装置，包括工作台、液压杆、气缸、夹持主板和电镀盘，所述工作台为L型结构，其内侧底端面开设有横向贯通的且呈矩形结构的底槽，其外侧顶端面远离竖直端的一侧安装有液压杆，其内侧顶端面设置有支撑顶板，所述液压杆的活塞端底端穿过工作台与支撑顶板焊接固定，所述支撑顶板的底端焊接有竖直设置的电机，所述电机的机轴通过支撑底板连接有搅拌扇叶。该半导体晶圆电镀夹持装置，能够对电镀槽内的电镀液进行搅拌，能够保证电镀液的搅拌流动充分，从而保证了电镀沉积厚度的均匀性，提高了电镀的效果，并由气缸的推动，完成夹持，使夹紧的效果更好，更稳定。
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公开(公告)号：CN118950506A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411156905.8
申请日：2024-08-22
申请人： 扬州国润半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种半导体用检测装置，涉及半导体检测技术领域，该半导体用检测装置，包括工作台，还包括检测装置；其中，所述工作台的上方固定安装有支撑架，所述支撑架的上方固定安装有直线电机，所述直线电机的输出端固定安装有传动轴，所述工作台的表面设置有运输机构；其中，所述检测装置包括升降板、承接管、限位杆、检测器、检测杆、固定盘、推压板、固定块、承接轴、置物台和挡块，所述升降板固定安装在传动轴的下方，所述承接管滑动安装在传动轴的圆周面，该半导体用检测装置通过检测杆移动的距离实现对半导体的翘曲状态进行检测，同时能实现对不同尺寸的半导体进行有效检测，提高设备的适用性。
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公开(公告)号：CN219525142U
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202320646395.7
申请日：2023-03-29
申请人： 扬州国润半导体科技有限公司
发明人： 徐宏进
摘要： 本实用新型涉及芯片输送技术领域，且公开了一种半导体激光芯片加工用上料装置，包括固定架和输送装置，输送装置的侧面等距开设有调节槽，在调节槽的内部等距活动安装有调节块，在调节槽的内部对应调节块上方位置设置有限位块，在调节块的内部开设有安装槽且安装槽贯穿限位块延伸而出，在安装槽的内部螺纹安装有安装杆，在限位块的上侧开设有约束槽。本实用新型中，通过安装杆在安装槽内部螺纹啮合，同时约束块在约束槽内部旋转滑动对安装杆起到约束作用，通过安装杆带动调节块挤压在调节槽内壁位置固定限位块，通过卡板在卡槽内部调节位置，这样对芯片起到约束限位作用，避免芯片位置偏移损坏。
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公开(公告)号：CN217369537U
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202220614497.6
申请日：2022-03-21
申请人： 扬州国润半导体科技有限公司
发明人： 徐宏进
摘要： 本实用新型公开了一种用于半导体致冷片成品的清洗篮，包括水箱；所述水箱底端内壁的中部固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的顶端与支撑板底侧的中部固定连接，所述支撑板的上方设置有清洗篮，所述支撑板上表面的左右两侧对称安装有振动电机，所述振动电机的震动端经震动块与清洗篮的底侧通过接触的方式连接。本实用新型通过超声波发生器和超声波换能器的结合，能够提高清洗篮内半导体致冷片的清洗效果，通过电动伸缩杆和支撑板的结合，能够推动清洗篮内清洗后的半导体致冷片移出水面，通过振动电机和震动块的结合，能够带动清洗篮内的半导体致冷片震动，进一步能够快速清理半导体致冷片表面粘附的水渍，从而为后续的收集节省时间。
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公开(公告)号：CN210543993U
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201921462771.7
申请日：2019-09-04
申请人： 扬州国润半导体科技有限公司
发明人： 徐宏进
IPC分类号： B01D47/02
摘要： 本实用新型公开了一种半导体设备粉尘去除装置，包括吸尘体、导气管和蓄水箱，所述吸尘体包括吸收管、塑料管和手动拉伸杆，所述塑料管的内腔中安装有风机，其外侧壁的顶部固定粘接有垫块，所述垫块上设有与之传动连接的调向轴，所述手动拉伸杆的侧壁与调向轴的外壁固定粘接，所述塑料管远离吸收管的一侧与导气管的一端固定粘接，所述蓄水箱的内腔中竖直设置有伸入管，其内腔中盛有自来水。该半导体设备粉尘去除装置，通过设置了蓄水箱、进液管、伸入管和自来水，通过进液管将自来水加入蓄水箱内，当空气带着粉尘并排入蓄水箱时，空气中的粉尘会被自来水吸收，防止被吸收的粉尘重新溢出至外界环境，使去除粉尘的效果更好。
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公开(公告)号：CN217902246U
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202221241258.7
申请日：2022-05-23
申请人： 扬州国润半导体科技有限公司
发明人： 徐宏进
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本实用新型提供了一种光刻机照度补偿装置，包括：光源组件，平行布置的复眼透镜与复眼聚光镜，均匀补偿器，以及耦合镜组，所述光源组件发射出的光量依次通过所述复眼透镜与所述复眼聚光镜并到达均匀补偿器，所述均匀补偿器由对向分隔设置的两个补偿单元组构成，每组所述补偿单元组具有若干并列排布的补偿单元，两组所述补偿单元组之间形成有照明视场，所述补偿单元为矩形结构的薄板，所述薄板为上下双层结构，每个所述补偿单元均能够遮拦部分来自光源组件的光，以调整视场能量分布状态，每个所述补偿单元的遮光率并不相同。通过本实用新型所揭示，能够满足光刻机的照度需求，提供照度补偿。
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公开(公告)号：CN217017669U
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202123161231.5
申请日：2021-12-15
申请人： 扬州国润半导体科技有限公司
发明人： 徐宏进
摘要： 本实用新型适用于半导体清洗用辅助技术领域，公开了一种半导体清洗快排清洗治具，包括清洗框和放置板，所述清洗框内侧顶部左右两端均转动安装有转动杆。本实用新型电推杆在运转带动推动板进行竖向抬升时，可以带动推动杆对升降框提供相应的抬升力，使得升降框同步竖向抬升移动至插入槽，随之使得电推杆的运转可以通过推动杆提供给滑动套筒相应的侧向推动力，保证两组插入杆同步相对移动而插入限位槽内部，保证转动电机的运转可以带动放置板同步进行转动的同时，放置板连同其表面放置的半导体可以进行翻转，在保证清洗质量的同时，方便对半导体表面堆积的清洗用水进行倾倒排放处理，较为实用，适合广泛推广与使用。
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公开(公告)号：CN216679296U
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202123155031.9
申请日：2021-12-15
申请人： 扬州国润半导体科技有限公司
发明人： 徐宏进
摘要： 本实用新型涉及晶圆技术领域，公开了一种半导体生产用晶圆清洗装置，包括清洗箱和弧板，所述弧板设置有两个，两个弧板置于清洗箱内部的两侧，且弧板通过连杆固定在清洗箱的内部，所述清洗箱的底部中间位置安装有电动推杆，电动推杆的上方贯穿至清洗箱的内部，且电动推杆的顶部通过固定板固定有支撑板。本实用新型通过在清洗箱内部两侧固定可以支撑晶圆的弧板，在两侧弧板之间的清洗箱下部通过电动推杆安装可升降的支撑板，清洗晶圆时使支撑板被升起，可以使晶圆方便的置于支撑板的支槽内，然后再带动其下降高度使其置于弧板的支槽内进行清洗工作，清洗完毕后再通过支撑板被支撑取出，方便了对晶圆的放入和取出工作。
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公开(公告)号：CN210373352U
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201921462769.X
申请日：2019-09-04
申请人： 扬州国润半导体科技有限公司
发明人： 徐宏进
摘要： 本实用新型公开了一种发光半导体的导光组件，包括防护罩、安装框架、底板和三组导光罩，所述安装框架顶壁的两侧均开有伸缩槽，其上设有两组升降杆，所述防护罩上开有两组贯穿其侧壁的散热孔，两组所述散热孔的内腔中均安装有风机，所述安装框架的两侧均固定粘接有斜板，所述安装框架内腔的四角均安装有温度传感器，其内腔的一侧固定安装有主控板，三组所述导光罩均设在安装框架的内腔中。该发光半导体的导光组件，通过设置了风机、升降杆、温度传感器和主控板，当温度传感器检测到温度达到摄氏度时，其传输电信号至主控板，主控板驱动风机和两组升降杆同时工作，从而给安装框架内的发光半导体迅速散热，防止其烧坏。
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公开(公告)号：CN217901547U
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202221273800.7
申请日：2022-05-26
申请人： 扬州国润半导体科技有限公司
发明人： 徐宏进
摘要： 本实用新型涉及传感器的标定靶标领域，提供了一种投影扫描数据采集扫描靶，所述扫描靶包括扫描基板和底座，所述扫描基板四周外侧设置有扫描基板框，所述扫描基板框的顶端面设置有水平仪，所述扫描基板的正面设置有标志点，所述扫描基板的背面设置有便携凹槽，所述底座顶端面设置有固定卡槽，所述扫描基板卡接固定于固定卡槽内，所述底座底端面对称设置有调节组件，所述调节组件包括铰接件、螺杆和内螺纹管，所述螺杆螺纹连接于内螺纹管内，所述铰接件连接于螺杆杆端，并且固定于底座底端面。本实用新型能够准确调整扫描基板的水平位置，消除因移动扫描靶带来的误差，并且适用于无磁条件下的光学传感器的标定。
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