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公开(公告)号：CN113206154A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110139503.7
申请日：2021-02-01
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: H01L29/78 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L21/336
Abstract: 本公开的实施例涉及具有减少接通电阻的竖直传导电子功率器件及制造工艺。一种竖直传导电子功率器件，包括：主体，由第一表面和第二表面界定并且具有半导体材料的外延层，以及衬底。外延层由主体的第一表面界定，并且衬底由主体的第二表面界定。外延层至少包含第一传导区域和第二传导区域，具有第一掺杂类型，以及多个在外延层内延伸的绝缘栅极区域。衬底具有至少一个硅化物区域，该硅化物区域从主体的第二表面开始朝向外延层延伸。
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公开(公告)号：CN101223101A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200680025765.4
申请日：2006-05-10
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： M·G·斯库拉蒂
CPC classification number: B01L3/50273 , B01L3/502707 , B01L3/502738 , B01L2200/10 , B01L2200/12 , B01L2300/0825 , B01L2300/087 , B01L2300/1827 , B01L2400/049 , B01L2400/0677 , Y10T29/49826 , Y10T137/0396 , Y10T137/2224
Abstract: 一种用于核酸分析的微流体装置，包括单片半导体本体(13)、至少部分容纳在所述单片半导体本体(13)中的微流体电路(10)以及微型泵(11)。微流体电路(10)包括形成在单片半导体本体(13)上的样品制备通道(18)和掩埋在单片半导体本体(13)中的至少一个微流体通道(20，22)。微型泵(11)包括多个设有相应可打开密封元件(41)的多个密封腔(40)，所述密封腔中具有不同于所述微流体电路(10)中的第二压力的第一压力。此外，微型泵(11)和微流体电路(10)配置成使得打开所述可打开密封元件(41)提供相应腔(40)与微流体电路(10)之间的流体耦合。可打开密封元件(41)集成在单片半导体本体(13)中。
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公开(公告)号：CN214588867U
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202120281925.3
申请日：2021-02-01
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: H01L29/78 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L21/336
Abstract: 本公开的实施例涉及竖直传导电子功率器件及半导体器件。一种竖直传导电子功率器件，包括：主体，由第一表面和第二表面界定并且具有半导体材料的外延层，以及衬底。外延层由主体的第一表面界定，并且衬底由主体的第二表面界定。外延层至少包含第一传导区域和第二传导区域，具有第一掺杂类型，以及多个在外延层内延伸的绝缘栅极区域。衬底具有至少一个硅化物区域，该硅化物区域从主体的第二表面开始朝向外延层延伸。利用本公开的实施例，使得能够减少接通电阻。
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